[实用新型]MEMS麦克风有效
申请号: | 201520524404.0 | 申请日: | 2015-07-17 |
公开(公告)号: | CN204836576U | 公开(公告)日: | 2015-12-02 |
发明(设计)人: | 朱佳辉 | 申请(专利权)人: | 北京卓锐微技术有限公司 |
主分类号: | H04R19/04 | 分类号: | H04R19/04 |
代理公司: | 北京成创同维知识产权代理有限公司 11449 | 代理人: | 蔡纯;高青 |
地址: | 100191 北京市海*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | mems 麦克风 | ||
1.一种MEMS麦克风,其特征在于,包括:
基板,所述基板包括第一表面和相对的第二表面;
设置在基板第一表面上的外壳,所述外壳和所述基板的第一表面形成腔体,所述腔体包括适于接收声信号的进音孔;以及
设置在所述腔体内的MEMS传感器和集成电路芯片,
其中,所述集成电路芯片倒装安装在所述基板的第一表面上,所述MEMS传感器通过金属线电连接所述基板,并通过基板电连接所述集成电路芯片。
2.根据权利要求1所述的MEMS麦克风,其特征在于,所述MEMS传感器设置于所述外壳上,并且所述进音孔穿过所述外壳到达所述MEMS传感器。
3.根据权利要求1所述的MEMS麦克风,其特征在于,所述MEMS传感器设置于所述基板上,并且所述进音孔穿过所述基板到达所述MEMS传感器。
4.根据权利要求1所述的MEMS麦克风,其特征在于,所述集成电路芯片包括预先形成的焊球,并且利用焊球固定在所述基板上。
5.根据权利要求1所述的麦克风,其特征在于,所述外壳为金属壳。
6.根据权利要求1所述的MEMS麦克风,其特征在于,所述基板为印刷电路板。
7.根据权利要求1所述的MEMS麦克风,其特征在于,所述集成电路芯片为ASIC芯片。
8.根据权利要求1所述的MEMS麦克风,其特征在于,MEMS麦克风还包括所述基板和外壳之间的支撑结构。
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