[实用新型]一种转动式振镜扫描装置有效

专利信息
申请号: 201520529429.X 申请日: 2015-07-21
公开(公告)号: CN204771140U 公开(公告)日: 2015-11-18
发明(设计)人: 黄见洪;林文雄;张志;史斐;郑晖;葛燕;吴鸿春;戴殊韬 申请(专利权)人: 中国科学院福建物质结构研究所
主分类号: B23K26/082 分类号: B23K26/082
代理公司: 北京庆峰财智知识产权代理事务所(普通合伙) 11417 代理人: 谢蓉
地址: 350002 *** 国省代码: 福建;35
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摘要:
搜索关键词: 一种 转动 式振镜 扫描 装置
【权利要求书】:

1.一种转动式振镜扫描装置,其特征在于:包括激光器、转动装置、转轴、转台和扫描振镜,扫描振镜安装在转台上,转轴的第一端连接到在转台一侧上,转动装置驱动转轴旋转,从而使得扫描振镜随转台一起转动,改变其工作位置,激光器发射的激光由扫描振镜反射照射到扫描振镜下方的工作面上。

2.如权利要求1所述的转动式振镜扫描装置,其特征在于:转动装置由蜗杆和蜗轮组成,蜗轮套接在转轴的外侧,蜗杆由动力源驱动,通过蜗杆的旋转驱动蜗轮,带动转轴旋转。

3.如权利要求2所述的转动式振镜扫描装置,其特征在于:蜗杆的螺旋升角很小,使得蜗杆只能带动蜗轮传动,而蜗轮不能带动蜗杆转动。

4.如权利要求1所述的转动式振镜扫描装置,其特征在于:转台为圆盘状,转轴的第一端连接到转台一侧的中心上。

5.如权利要求1-4之一所述的转动式振镜扫描装置,其特征在于:转轴呈中空状,沿其轴向设置有通孔,激光传播装置包括轴上射镜、轴下反射镜、45度反射镜,其中,轴上射镜和轴下反射镜分别设置在转轴通孔两端侧,45度反射镜安装在转台上,

激光器发射的激光首先由轴上射镜反射,所反射的激光束经过转轴通孔,照射到轴下反射镜,激光束再通过45度反射镜反射到扫描振镜,进而照射到工作面上。

6.如权利要求5所述的转动式振镜扫描装置,其特征在于:轴上射镜设置在转轴的第二端轴向外侧,轴下反射镜设置在转轴的第一端端部内侧并安装在转台上,转轴的第一端侧壁上具有让激光出射的开口。

7.如权利要求6所述的转动式振镜扫描装置,其特征在于:转台为圆盘状,转轴的第一端连接到在转台一侧的中心位置,相应的,轴下反射镜安装在转台的中心位置。

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