[实用新型]扩散自动插片机抓手防漏抓装置有效
申请号: | 201520549046.9 | 申请日: | 2015-07-27 |
公开(公告)号: | CN204792747U | 公开(公告)日: | 2015-11-18 |
发明(设计)人: | 年平静;王银;刘成龙 | 申请(专利权)人: | 尚德太阳能电力有限公司 |
主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683;H01L21/67 |
代理公司: | 上海智信专利代理有限公司 31002 | 代理人: | 王洁;郑暄 |
地址: | 201114 上海*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 扩散 自动 插片机 抓手 防漏 装置 | ||
1.一种扩散自动插片机抓手防漏抓装置,所述的抓手防漏抓装置应用于扩散自动插片机中,其特征在于,所述的抓手防漏抓装置包括抓手水平方向导轨、前位置定位挡板、后位置定位挡板、驱动气缸以及抓手驱动连接块;所述的前位置定位挡板、所述的后位置定位挡板以及所述的抓手水平方向导轨通过第四抓手连接块与抓手的横移导轨相连接,所述的驱动气缸分别与所述的后位置定位挡板以及所述的抓手驱动连接块相连接,所述的抓手驱动连接块还与所述的前位置定位挡板相连接,所述的抓手与所述的抓手驱动连接块相连接。
2.根据权利要求1所述的扩散自动插片机抓手防漏抓装置,其特征在于,所述的装置还包括气缸位置感应器以及气缸驱动连接块,所述的气缸驱动连接块设置于所述的抓手驱动连接块与所述的驱动气缸之间,所述的气缸位置所述的气缸位置感应器设置于所述的气缸驱动连接块与所述的驱动气缸之间。
3.根据权利要求2所述的扩散自动插片机抓手防漏抓装置,其特征在于,所述的气缸驱动连接块与所述的驱动气缸的驱动活塞相连接。
4.根据权利要求1所述的扩散自动插片机抓手防漏抓装置,其特征在于,所述的装置还包括气缸速度调节阀,所述的气缸速度调节阀设置于所述的驱动气缸。
5.根据权利要求1所述的扩散自动插片机抓手防漏抓装置,其特征在于,所述的装置还包括前位置调整固定螺丝和后位置调整固定螺丝,所述的前位置调整固定螺丝插设于所述的前位置定位挡板,并与所述的抓手驱动连接块相接触,所述的后位置调整固定螺丝插设于所述的后位置定位挡板,并与所述的抓手驱动连接块相接触。
6.根据权利要求1所述的扩散自动插片机抓手防漏抓装置,其特征在于,所述的装置还包括第五抓手连接块,所述的第五抓手连接块分别与所述的抓手水平方向导轨、所述的抓手驱动连接块以及所述的抓手相连接。
7.根据权利要求6所述的扩散自动插片机抓手防漏抓装置,其特征在于,所述的装置还包括第一抓手连接块、第二抓手连接块以及第三抓手连接块,所述的第一抓手连接块、所述的第二抓手连接块以及所述的第三抓手连接块分别与所述的第五抓手连接块相连接,所述的抓手与所述的第一抓手连接块、第二抓手连接块以及第三抓手连接块相连接。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造