[实用新型]一种晶元清洗机用供料机

权利要求书

1.一种晶元清洗机用供料机，其特征在于，包括分片机架、放置在分片机架侧面的传输机架，所述分片机架顶面设有滑轨，所述滑轨末端设有限位板，所述分片机架顶面竖直设有立架，所述立架顶面设有滑动箱，所述滑动箱上设有沿所述滑动箱纵向滑动的横梁，所述滑动箱上设有驱动所述横梁移动的纵向驱动机构，所述横梁设有升降气缸，所述升降气缸的气缸杆上设有吸盘；所述分片机架上设有升降电缸，所述升降电缸的电缸杆顶部设有托板，所述托板穿过所述分片机架顶面，所述滑轨后方的分片机架顶面设有横向传输带机构；所述传输机架设有纵向传输带，所述传输机架上设有升降支架，所述升降支架上设有横向带轮以及绕在所述横向带轮上的横向输送带，所述传输机架上设有与所述升降支架连接的举升气缸，所述升降支架上设有挡板和晶元检测传感器。

2.根据权利要求1所述的一种晶元清洗机用供料机，其特征是，所述吸盘设有硅片检测开关。

3.根据权利要求1所述的一种晶元清洗机用供料机，其特征是，所述滑轨至少两对，即形成两个及以上的工位。

4.根据权利要求1所述的一种晶元清洗机用供料机，其特征是，所述滑轨两侧的分片机架设有朝向工位的风刀。

5.根据权利要求4所述的一种晶元清洗机用供料机，其特征是，所述风刀与设置在分片机架上的风刀气缸连接。

6.根据权利要求3所述的一种晶元清洗机用供料机，其特征是，所述工位对角的分片机架上设有晶元平衡检测传感器。

7.根据权利要求1所述的一种晶元清洗机用供料机，其特征是，所述纵向驱动机构包括纵向传送带、与所述纵向传送带驱动连接的纵向传输电机。

8.根据权利要求1所述的一种晶元清洗机用供料机，其特征是，所述托板上设有导向柱。

9.根据权利要求1所述的一种晶元清洗机用供料机，其特征是，所述传输机架上设有与所述升降支架配合的竖直滑轨。