[实用新型]一种晶元清洗机用供料机有效
申请号: | 201520549333.X | 申请日: | 2015-07-28 |
公开(公告)号: | CN204857697U | 公开(公告)日: | 2015-12-09 |
发明(设计)人: | 吴方辉;隆霹显;陈志运;王世贤;张华;陈清波;杜教峰 | 申请(专利权)人: | 张家港国龙光伏科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683;H01L21/677;H01L21/66;H01L31/18 |
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地址: | 215000 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 清洗 供料 | ||
技术领域
本实用新型涉及硅片生成设备技术领域,特别涉及一种晶元清洗机用供料机。
背景技术
在光伏行业内,清洗机是电池车间不可缺少的,其中链式清洗机使用最为广泛。传统的链式清洗机都是人工上料,碎片率比较高,而且手接触晶元造成的污染也很严重,现也有上料机,自动化程度低,碎片率高。
实用新型内容
针对现有技术的不足,本实用新型的目的是提供一种晶元清洗机用供料机。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:一种晶元清洗机用供料机,包括分片机架、放置在分片机架侧面的传输机架,所述分片机架顶面设有滑轨,所述滑轨末端设有限位板,所述分片机架顶面竖直设有立架,所述立架顶面设有滑动箱,所述滑动箱上设有沿所述滑动箱纵向滑动的横梁,所述滑动箱上设有驱动所述横梁移动的纵向驱动机构,所述横梁设有升降气缸,所述升降气缸的气缸杆上设有吸盘;所述分片机架上设有升降电缸,所述升降电缸的电缸杆顶部设有托板,所述托板穿过所述分片机架顶面,所述滑轨后方的分片机架顶面设有横向传输带机构;所述传输机架设有纵向传输带,所述传输机架上设有升降支架,所述升降支架上设有横向带轮以及绕在所述横向带轮上的横向输送带,所述传输机架上设有与所述升降支架连接的举升气缸,所述升降支架上设有挡板和晶元检测传感器。
上述设计中利用升降气缸、吸盘、横梁实现晶元的抓取和移动,通过横向传输带机构、纵向传输带、升降的横向带轮实现晶元的传输和转向,自动化程度高,碎片率低;所述挡板和晶元检测传感器实现对晶元的预先分割,实现多个晶元的输送,生产效率高。
作为本设计的进一步改进,所述吸盘设有硅片检测开关,防止未夹持晶元,提高生产效率。
作为本设计的进一步改进,所述滑轨至少两对,即形成两个及以上的工位,提高生产效率。
作为本设计的进一步改进,所述滑轨两侧的分片机架设有朝向工位的风刀,所述风刀便于分离硅片,防止多夹片。
作为本设计的进一步改进,所述风刀与设置在分片机架上的风刀气缸连接,防止风刀与硅片干涉,提高风刀的效能。
作为本设计的进一步改进,所述工位对角的分片机架上设有晶元平衡检测传感器,防止晶元跑偏、倾斜,减少碎片。
作为本设计的进一步改进,所述纵向驱动机构包括纵向传送带、与所述纵向传送带驱动连接的纵向传输电机,缓冲效果好,防止晶元滑落。
作为本设计的进一步改进,所述托板上设有导向柱,提高托板的稳定性,保证托板的水平程度。
作为本设计的进一步改进,所述传输机架上设有与所述升降支架配合的滑轨,提高升降支架升降的平稳性。
本实用新型的有益效果是:本实用新型利用升降气缸、吸盘、横梁实现晶元的抓取和移动,通过横向传输带机构、纵向传输带、升降的横向带轮实现晶元的传输和转向,自动化程度高,碎片率低;所述挡板和晶元检测传感器实现对晶元的预先分割,实现多个晶元的输送,生产效率高。
附图说明
下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
图1是本实用新型的整体结构示意图。
图2是本实用新型的分片机架俯视示意图。
在图中1.分片机架,2.滑轨,3.导向柱,4.升降电缸,5.举升气缸,6.传输机架,7.升降支架,8.横向输送带,9.竖直滑轨,10.横向带轮,11.纵向传输带,12.晶元检测传感器,13.挡板,14.风刀气缸,15.风刀,16.横梁,17.升降气缸,18.纵向驱动机构,19.滑动箱,20.吸盘,21.硅片检测开关,22.限位板,23.立架,24.晶元平衡检测传感器,25.纵向传送带,26.横向传输带机构,27.托板,28.纵向传输电机。
具体实施方式
下面将结合附图以及具体实施例来详细说明本实用新型,其中的示意性实施例以及说明仅用来解释本实用新型,但并不作为对本实用新型的限定。
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H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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