[实用新型]一种阴极镀膜工装有效
| 申请号： | 201520550734.7 | 申请日： | 2015-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN204999968U | 公开（公告）日： | 2016-01-27 |
| 发明（设计）人： | 邓清东;宋田英;贺兆昌;张丽 | 申请（专利权）人： | 安徽华东光电技术研究所 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人： | 董建林 |
| 地址： | 241002 安徽省芜*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 阴极 镀膜 工装 | ||
【权利要求书】：
1.一种阴极镀膜工装，其特征在于：包括基座和底盘，所述基座为带有底盘安装孔的筒形结构，所述底盘为倒凸台形结构，所述底盘安装在所述底盘安装孔中，所述底盘上开设有多个与镀膜阴极尺寸对应的通孔。
2.如权利要求1所述的一种阴极镀膜工装，其特征在于：所述基座的内径与所述底盘的外径相配合，所述基座的底盘安装孔直经与底盘凸台外径的相配合。
3.如权利要求1所述的一种阴极镀膜工装，其特征在于：所述基座的底厚、底盘的上底厚、底盘底厚为2±0.5mm。
4.如权利要求1所述的一种阴极镀膜工装，其特征在于：所述基座和底盘的材料为高温材料钼或者钨。
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