[实用新型]一种阴极镀膜工装有效
申请号: | 201520550734.7 | 申请日: | 2015-07-28 |
公开(公告)号: | CN204999968U | 公开(公告)日: | 2016-01-27 |
发明(设计)人: | 邓清东;宋田英;贺兆昌;张丽 | 申请(专利权)人: | 安徽华东光电技术研究所 |
主分类号: | C23C14/50 | 分类号: | C23C14/50 |
代理公司: | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人: | 董建林 |
地址: | 241002 安徽省芜*** | 国省代码: | 安徽;34 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 阴极 镀膜 工装 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种镀膜工装,特别涉及一种阴极的镀膜工装。
背景技术
大功率微波器件是现代武器装备中雷达、电子战、通信及制导系统的核心器件,阴极是这些核心器件的“心脏”,也是影响器件寿命的关键部件。设计阴极时,需要充分考虑到的因素有:耐离子轰击、耐高压、耐中毒、耐振动、耐冲击、抗打火、发射能力以及寿命长等,基于这些要求,通常会选用覆膜浸渍型钡钨阴极,在阴极的表面覆一层贵金属膜,可以降低阴极的逸出功,提高阴极的发射能力,在同等工作电流条件下,降低了阴极工作温度,并延长了阴极工作寿命。同时在覆膜前,采用离子刻蚀技术对阴极表面进行处理,使阴极露出新鲜的表面,大大提高了阴极的覆膜质量。因此,此类阴极具有更大的发射电流密度、工作稳定、抗中毒能力强等优点。镀膜时,需根据阴极尺寸,将阴极安装到合适的镀膜工装上,通常,一种阴极要对应一个镀膜工装,并且在累计一定周期的镀膜刻蚀加工中,工装会有磨损,而导致尺寸偏离原有尺寸,所以需定期更换,但是现有的镀膜工装没有通用性,加工成本太大,不利于企业降低成本。
发明内容
为了克服现有镀膜工装没有通用性,加工成本太大,不利于企业降低成本的不足,本实用新型提供一种镀膜工装,具有很大的通用性,大大降低更换工装和加工工装的成本,间接的为企业带来经济效益。
为实现上述目的,本发明是通过以下技术手段来实现的:
一种阴极镀膜工装,其特征在于:包括基座和底盘,所述基座为带有底盘安装孔的筒形结构,所述底盘为倒凸台形结构,所述底盘安装在所述底盘安装孔中,底盘上开设有多个与镀膜阴极尺寸对应的通孔。
进一步地:
所述基座的内径与所述底盘的外径相配合,所述基座的底盘安装孔直径与底盘凸台外径的相配合。
所述基座的底厚、底盘的上底厚、底盘底厚为2±0.5mm。
所述基座和底盘的材料为高温材料钼或者钨。
本发明的有益效果是:既能保障阴极镀膜的质量,又因为具有很大的通用性,大大降低更换工装和加工工装的成本,间接的为企业带来经济效益。
附图说明
图1是本实用新型中的镀膜工装结构示意图,其中,a为主视图,b为俯视图,图2是基座结构示意图,图3是底盘结构示意图。
具体实施方式
下面将结合说明书附图,对本发明作进一步的说明。
如附图1--3所示,一种阴极镀膜工装,其特征在于:包括基座1和底盘2,所述基座1为带有底盘安装孔的筒形结构,所述底盘2为倒凸台形结构,所述底盘2安装在所述底盘安装孔中,底盘2上开设有多个与镀膜阴极尺寸对应的通孔D3,用于安装被镀膜阴极。
底盘是安装在基座的下底部,基座外围尺寸是基于具体的镀膜机设备尺寸而定的。
进一步地:
所述基座1的内径D1与所述底盘2的外径D3相配合,所述基座1的底盘安装孔直径D2与底盘凸台外径D4的相配合。
所述基座的底厚H1、底盘的上底厚H3、底盘底厚H2为2±0.5mm。
所述基座1和底盘2的材料为高温材料钼或者钨。但基于加工性能及成本,倾向于选择钼。
以上显示和描述了本发明的基本原理、主要特征及优点。本行业的技术人员应该了解,本设计不受上述实施例的限制,上述实施例和说明书中描述的只是说明本设计的原理,在不脱离本设计精神和范围的前提下,本设计还会有各种变化和改进,这些变化和改进都落入要求保护的本设计范围内。本设计要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于安徽华东光电技术研究所,未经安徽华东光电技术研究所许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201520550734.7/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:改进节能型内冷式电解装置
- 下一篇:一种多工位自动化热喷涂辅助装置
- 同类专利
- 专利分类