[实用新型]显影蚀刻机台

权利要求书

1.一种显影蚀刻机台，其特征在于，该显影蚀刻机台包括：

外壳体，包括可开合的外侧窗；

内壳体，配置于外壳体内且包括内底面、内壁面及透明盖板，其中该内壁面连接于该内底面且朝向该内底面倾斜，该内壁面包括开口，该开口对应于该外侧窗，该透明盖板可拆卸地覆盖在该开口上；以及

摇摆座，位于该内壳体内。

2.如权利要求1所述的显影蚀刻机台，其特征在于，该内壁面与该内底面之间的夹角在70度至85度之间。

3.如权利要求1所述的显影蚀刻机台，其特征在于，该内壁面的该开口的底部与该内底面之间的距离在1厘米至5厘米之间。

4.如权利要求1所述的显影蚀刻机台，其特征在于，该显影蚀刻机台还包括：

导流件，配置于该内壳体的该内壁面与该内底面之间的夹角，且该导流件具有朝向该摇摆座的一斜面。

5.如权利要求4所述的显影蚀刻机台，其特征在于，该导流件延伸至该内壁面的该开口的底部且接触或接近于该透明盖板。

6.如权利要求4所述的显影蚀刻机台，其特征在于，该导流件的该斜面与该内壳体的该内底面之间的夹角大于90度。

7.如权利要求1所述的显影蚀刻机台，其特征在于，该内壳体还包括密封件，配置于该内壁面的该开口周围以及该透明盖板之间。

8.如权利要求7所述的显影蚀刻机台，其特征在于，该透明盖板包括沟槽，该密封件配置于该沟槽内且凸出于该透明盖板。

9.如权利要求7所述的显影蚀刻机台，其特征在于，该密封件为一环形胶条。

10.如权利要求1所述的显影蚀刻机台，其特征在于，该内壳体还包括多个固定件，该些固定件穿设于该透明盖板与至少部分的该内壁面，以使该透明盖板靠紧于该内壁面。