[实用新型]用于多晶硅生产中含氯硅烷废气淋洗废水的专用处理系统有效
申请号: | 201520597392.4 | 申请日: | 2015-08-10 |
公开(公告)号: | CN204981418U | 公开(公告)日: | 2016-01-20 |
发明(设计)人: | 蒋晓龙;苟文娜;张辉;屈杰;张鹏涛;赵辉;张俊峰 | 申请(专利权)人: | 陕西天宏硅材料有限责任公司 |
主分类号: | C02F9/04 | 分类号: | C02F9/04;C02F103/36 |
代理公司: | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人: | 宋秀珍 |
地址: | 710006 陕西省西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 多晶 生产 中含氯 硅烷 废气 淋洗 废水 专用 处理 系统 | ||
1.用于多晶硅生产中含氯硅烷废气淋洗废水的专用处理系统,其特征在于:含氯硅烷废气淋洗产生的废水(1)从污水调节罐(2)进口端进入,所述污水调节罐(2)的出口端与污泥池(4)的一个入口端连接,所述污泥池(4)出口端与压滤机(5)入口端连接,所述压滤机(5)的一个出口端与中和罐(7)的一个入口端连接,压滤机(5)另一个出口端排出废渣(6),所述中和罐(7)出口端与过滤器(8)入口端连接,所述过滤器(8)的一个出口端与出水罐(10)入口端连接,过滤器(8)另一个出口端排出滤渣(9),所述滤渣(9)通过污泥池(4)的第二个入口端进入污泥池(4)内,所述出水罐(10)一个出口端与盛纳指标合格水容器连接,出水罐(10)另一个出口端与应急水池(11)入口端连接,所述应急水池(11)出口端与污泥池(4)的第三个入口端连接,浓硫酸储罐(3)的一个出口端与污泥池(4)的第四个入口端连接,浓硫酸储罐(3)的另一个出口端与中和罐(7)的另一个入口端连接。
2.根据权利要求1所述的用于多晶硅生产中含氯硅烷废气淋洗废水的专用处理系统,其特征在于:所述污泥池(4)内设有使其内废水中和完全的搅拌机。
3.根据权利要求1所述的用于多晶硅生产中含氯硅烷废气淋洗废水的专用处理系统,其特征在于:所述压滤机(5)为厢式压滤机。
4.根据权利要求1所述的用于多晶硅生产中含氯硅烷废气淋洗废水的专用处理系统,其特征在于:所述过滤器(8)为液体薄膜过滤器。
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