[实用新型]用于多晶硅生产中含氯硅烷废气淋洗废水的专用处理系统

说明书

技术领域

本实用新型属废气处理系统技术领域，具体涉及一种用于多晶硅生产中含氯硅烷废气淋洗废水的专用处理系统。

背景技术

多晶硅生产过程中产生的废气主要成分为氯硅烷、氯化氢、氢气和氮气等，含氯硅烷废气的常用处理方法有水洗法、钙洗法和钠洗法，分别用水、石灰乳、氢氧化钠溶液为介质与含氯硅烷废气进行反应以去除废气中的氯硅烷。当采用石灰乳溶液水解中和处理废气中的氯硅烷和氯化氢时，淋洗产生废水的主要成分有氯化钙、硅酸钙、二氧化硅和未反应的石灰。该废水目前多采用中和过滤的工艺进行处理。由于废水中的硅酸钙、二氧化硅是气体和液体反应的产物，粒径很小，常用的压滤机不能有效去除，导致出水中的悬浮物较高，不能达标排放，造成环境影响。

实用新型内容

本实用新型解决的技术问题：提供一种用于多晶硅生产中含氯硅烷废气淋洗废水的专用处理系统，废水在污水调节罐内初调节后进入污泥池内进行一次中和，然后进入压滤机进行一次压滤，滤液进入中和罐二次中和，中和后进入过滤器进行二次压滤，滤液达标后排放，采用该系统能够实现含氯硅烷废气淋洗废水的达标处理，确保上清液的悬浮物浓度小于10mg/L，PH为6-9，满足环保要求，实现达标排放。

本实用新型采用的技术方案：用于多晶硅生产中含氯硅烷废气淋洗废水的专用处理系统，含氯硅烷废气淋洗产生的废水从污水调节罐进口端进入，所述污水调节罐的出口端与污泥池的一个入口端连接，所述污泥池出口端与压滤机入口端连接，所述压滤机的一个出口端与中和罐的一个入口端连接，压滤机另一个出口端排出废渣，所述中和罐出口端与过滤器入口端连接，所述过滤器的一个出口端与出水罐入口端连接，过滤器另一个出口端排出滤渣，所述滤渣通过污泥池的第二个入口端进入污泥池内，所述出水罐一个出口端与盛纳指标合格水容器连接，出水罐另一个出口端与应急水池入口端连接，所述应急水池出口端与污泥池的第三个入口端连接，浓硫酸储罐的一个出口端与污泥池的第四个入口端连接，浓硫酸储罐的另一个出口端与中和罐的另一个入口端连接。

还提供一种用于多晶硅生产中含氯硅烷废气淋洗废水的处理方法，包括下述步骤：

1)初调节：含氯硅烷废气淋洗产生的废水首先进入污水调节罐进行收集，在污水调节罐内进行水质水量的调节；

2)一次中和：经调节后的废水，从污水调节罐的罐底进入污泥池，在污泥池内加入来自浓硫酸储罐3的浓硫酸进行中和处理，调节废水PH为8.5左右；

3)一次过滤：中和后的废水经过压滤机进行压滤，实现固液分离，废渣外运处理，滤液进入中和罐；

4)二次中和：根据中和罐内滤液的pH值，进一步加入来自浓硫酸储罐的浓硫酸中和调节滤液的pH为6-9；

5)二次过滤：中和罐7的滤液通过过滤器进行再次过滤，所述过滤器的出水进入出水罐，过滤下来的残渣进入污泥池，出水罐的出水经过pH和悬浮物检测，合格后外排，不合格的出水进入应急水池，根据运行情况打入污水调节罐再次处理。

上述步骤2)和步骤4)中，一次中和与二次中和均采用浓度为98％的浓硫酸。

进一步地，所述污泥池内设有使其内废水中和完全的搅拌机。

进一步地，所述压滤机为厢式压滤机。

进一步地，所述过滤器为液体薄膜过滤器。

本实用新型与现有技术相比通过对废水的初次调节、一次中和、一次过滤、二次中和、二次过滤等过程实现对含氯硅烷废气淋洗废水的达标处理，避免环境事故的发生。

附图说明

图1为本实用新型原理结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图1描述本实用新型的一种实施例。