[实用新型]高过滤率酸性蚀刻再生剂配液装置

权利要求书

1.高过滤率酸性蚀刻再生剂配液装置，它包括用于盛装酸性蚀刻再生剂的罐体（1），其特征在于：所述罐体（1）为三段式结构，包括上部罐体（10）、中部罐体（11）和下部罐体（12），所述中部罐体（11）的顶端和底端均设置有凸块（42），所述上部罐体（10）的底端和下部罐体（12）的顶端均开设有凹槽（40），凹槽（40）内嵌置有密封凹圈（41），所述中部罐体（11）顶端的凸块（42）插入上部罐体（10）底端的凹槽（40）内，中部罐体（11）底端的凸块（42）插入下部罐体（12）顶端的凹槽（40）内；上部罐体（10）和中部罐体（11）在插接位设置有弹性锁扣（4），下部罐体（12）和中部罐体（11）在插接位也设置有弹性锁扣（4）；

所述下部罐体（12）内部焊接有弧形过滤网（50），弧形过滤网（50）的底端与下部罐体（12）底部的距离是下部罐体（12）的高度的一半；所述下部罐体（12）的底端连接有管道（5），管道（5）依次连接有泵（6）、过滤器（7）和储液罐（8）。

2.根据权利要求1所述的高过滤率酸性蚀刻再生剂配液装置，其特征在于：所述下部罐体（12）的高度是上部罐体（10）的高度的三分之二，所述中部罐体（11）的高度是上部罐体（10）的高度的两倍。

3.根据权利要求2所述的高过滤率酸性蚀刻再生剂配液装置，其特征在于：所述上部罐体（10）顶端盖设有盖子（3），盖子（3）安装有搅拌装置（2），盖子（3）还开设有可关闭的透气孔（20），盖子（3）上方设置有抽风装置（9），抽风装置（9）通过排气管连接有气体过滤器（90）。