[实用新型]一种新型正硅酸乙酯气体供应装置有效
| 申请号： | 201520601865.3 | 申请日： | 2015-08-12 |
| 公开（公告）号： | CN204874831U | 公开（公告）日： | 2015-12-16 |
| 发明（设计）人： | 李建刚;焦二强;王晓飞;李海涛 | 申请（专利权）人： | 麦斯克电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/12 | 分类号： | C30B33/12 |
| 代理公司： | 洛阳明律专利代理事务所 41118 | 代理人： | 卢洪方 |
| 地址： | 471000 河南省洛*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 新型 硅酸 气体 供应 装置 | ||
1.一种新型正硅酸乙酯气体供应装置，其特征是：所述的一种新型正硅酸乙酯气体供应装置主要是由水箱（7）、不锈钢支架（8）、加热棒（10）、1号桶式容器（12）、2号桶式容器（11）、水箱盖（19）、第一液体输入管道（14）、第二液体输入管道（15）、第一气体输出管道（3）、第二气体输出管道（4）、第一热电偶（1）、第二热电偶（2）、第三热电偶（6）构成；其中，水箱（7）是一个双层不锈钢箱体；水箱（7）下部内壁一侧装有一个加热器（10），加热器（10）的上方是一个不锈钢支架（8），水箱（7）上部设有一个可开启的水箱盖（19）；热电偶（6）穿过水箱盖（19）垂直在水箱（7）内的一侧位置；1号桶式容器（12）和2号桶式容器（11）分别水平放在不锈钢支架（8）上面；1号桶式容器（12）和2号桶式容器（11）上穿过水箱盖（19）分别装有第一液体输入管道（14）、第一气体输出管道（3）、第二液体输入管道（15）和第二气体输出管道（4）；第一液体输入管道（14）和第二液体输入管道（15）分别与外部正硅酸乙脂液体供应系统连接；第一气体输出管道（3）和第二气体输出管道（4）分别与背封炉设备上的炉管相连接；第一液体输入管道（14）和第二液体输入管道（15）、第一气体输出管道（3）和第二气体输出管道（4）上分别装有第一液体输入管道阀门（9）第二液体输入管道阀门（17）、第一气体输出管道阀门（16）和第二气体输出管道阀门（18）；第一气体输出管道（3）和第二气体输出管道（4）前端部分分别包裹有加热保温层（20）和加热保温层（5）。
2.根据权利要求1所述的一种新型正硅酸乙酯气体供应装置，其特征是：水箱（7）的双层箱体内壁间填加有保温层（13）。
3.根据权利要求1所述的一种新型正硅酸乙酯气体供应装置，其特征是：第一气体输出管道（3）和第二气体输出管道（4）前端部分包裹的加热保温层（20）和加热保温层（5）上装有第一热电偶（1）和第二热电偶（2）。
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