[实用新型]高压水喷淋装置有效
| 申请号： | 201520606646.4 | 申请日： | 2015-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN204885110U | 公开（公告）日： | 2015-12-16 |
| 发明（设计）人： | 楚智勇 | 申请（专利权）人： | 深圳沃夫特自动化设备有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 高压 喷淋 装置 | ||
1.一种高压水喷淋装置，用以去除引线框架的毛刺，其特征在于，包括：
多个喷嘴模块，分布在引线框架行走路径的两侧；
多组滚筒组件，分别设置在每个喷嘴模块的对立侧，每组滚筒组件包括：多个沿引线框架行走路径依次排布并能够同步转动的滚筒以及穿设在各滚筒轴向的滚筒轴；
滚筒固定支架，位于每组滚筒组件的上方并与各滚筒轴可转动相连。
2.如权利要求1所述的高压水喷淋装置，其特征在于，所述高压水喷淋装置还包括多个转轮，所述多个转轮分别设置在每组滚筒组件的至少一滚筒轴上，且各转轮侧面沿周向设置有多个定位销。
3.如权利要求2所述的高压水喷淋装置，其特征在于，所述高压水喷淋装置还包括多个压轮，所述多个压轮分别设置在各转轮的相对侧，且各压轮侧面均环设有一圈凹槽。
4.如权利要求3所述的高压水喷淋装置，其特征在于，所述压轮可转动地安装在一压轮活动板的一端，所述压轮活动板的另一端可转动地安装在所述滚筒固定支架上，所述压轮活动板与所述滚筒固定支架之间还连接有弹性元件。
5.如权利要求4所述的高压水喷淋装置，其特征在于，所述弹性元件为复位弹簧。
6.如权利要求1所述的高压水喷淋装置，其特征在于，每组滚筒组件上的各滚筒联动地安装在一起，以实现同步转动。
7.如权利要求1所述的高压水喷淋装置，其特征在于，所述滚筒固定支架内安装有轴承，所述滚筒轴安装在所述轴承上。
8.如权利要求1所述的高压水喷淋装置，其特征在于，所述高压水喷淋装置还包括一支撑框架，所述滚筒固定支架固定在所述支撑框架的顶部。
9.如权利要求8所述的高压水喷淋装置，其特征在于，所述支撑框架包括：多个支撑脚，以及固定在支撑脚顶端之间的横梁和纵梁，所述纵梁的长度方向与引线框架行走路径一致，所述喷嘴模块固定在所述纵梁的下方。
10.如权利要求1所述的高压水喷淋装置，其特征在于，所述喷嘴模块包括：一喷嘴安装座和分布在所述喷嘴安装座上的多个高压水喷嘴。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
