[实用新型]一种单晶炉真空泵废油收集系统有效
| 申请号： | 201520609234.6 | 申请日： | 2015-08-14 |
| 公开（公告）号： | CN204851592U | 公开（公告）日： | 2015-12-09 |
| 发明（设计）人： | 张明亮;赵险峰;王松涛;司鹏辉 | 申请（专利权）人： | 麦斯克电子材料有限公司 |
| 主分类号： | F04B39/00 | 分类号： | F04B39/00;C30B15/00 |
| 代理公司： | 洛阳公信知识产权事务所(普通合伙) 41120 | 代理人： | 罗民健 |
| 地址： | 471000 河南省洛阳*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 单晶炉 真空泵 废油 收集 系统 | ||
1.一种单晶炉真空泵废油收集系统，其特征在于：包括气动隔膜泵（8）、废油桶（10）和废油收集管道（2），其中，废油收集管道（2）通过若干支管道（3）分别与每个真空泵（1）的放油口连接，并通过废油输送管道（7）与气动隔膜泵（8）的进口连接，气动隔膜泵（8）的出口通过排油管（9）与废油桶（10）连接，在每条支管道（3）上均设置有阀门Ⅰ（4），在废油输送管道（7）上设置阀门Ⅱ（6），在排油管（9）和气动隔膜泵（8）的压缩空气管道（11）上分别设置有控制阀。
2.根据权利要求1所述的一种单晶炉真空泵废油收集系统，其特征在于：所述真空泵（1）的放油口与支管道（3）之间通过连接软管（12）连接，该连接软管（12）为外层的塑料软管（1201）和内层的钢丝管（1202）嵌套而成的双层结构。
3.根据权利要求1所述的一种单晶炉真空泵废油收集系统，其特征在于：所述废油输送管道（7）与气动隔膜泵（8）的进口之间通过连接软管（12）连接，该连接软管（12）为外层的塑料软管（1201）和内层的钢丝管（1202）嵌套而成的双层结构。
4.根据权利要求1所述的一种单晶炉真空泵废油收集系统，其特征在于：所述排油管（9）与气动隔膜泵（8）的出口之间通过连接软管（12）连接，该连接软管（12）为外层的塑料软管（1201）和内层的钢丝管（1202）嵌套而成的双层结构。
5.根据权利要求1所述的一种单晶炉真空泵废油收集系统，其特征在于：所述废油收集管道（2）上设置有阻断其与废油输送管道（7）连通的控制阀（5）。
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