[实用新型]一种单晶炉真空泵废油收集系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及到单晶硅生产领域，具体的说是一种单晶炉真空泵废油收集系统。

背景技术

硅单晶直拉炉正常运行期间，是从炉子上端通入氩气，从炉子下端抽走硅料及掺杂剂在1500度高温状态下挥发的废气，炉内一直处于氩气保护状态，工作压力稳定在15Torr左右的真空状态下，保护炉内的石墨加热器及各种石墨器件和硅料等不因接触外界空气而发生氧化。这一工作状态，要靠真空泵联系不断的工作来保证该条件的实现，每一炉次处于连续的加热状态的时间要在平均要在60个小时左右，真空泵泵油里会渗入大量的挥发物，拉制2-3炉次后，真空泵泵油性能会明显下降，变得粘稠，需要更换新的泵油保证下一炉次的正常生产，现在更换泵油是靠员工手动将泵油从放油口放出，用小油桶接油，放完后将废油提到废油存放处倒入大的废油桶内，在此期间经常会出现不同程度的废泵油泄漏和洒落，就需要员工用手去清理，泵油里面有很多有毒有害的物质，并且有挥发性，不可避免的要对人体和环境造成伤害和污染。

实用新型内容

为解决现有技术中真空泵的泵油需要人工进行更换所导致的一系列问题，本实用新型提供了一种单晶炉真空泵废油收集系统，将废真空泵油封闭环境下抽出并集中输送到大废油桶内，避免人为更换泵油过程中的各种泄漏和洒落风险，最大限度的降低换废油过程对人体和环境的伤害和污染。

本实用新型为解决上述技术问题采用的技术方案为：一种单晶炉真空泵废油收集系统，包括气动隔膜泵、废油桶和废油收集管道，其中，废油收集管道通过若干支管道分别与每个真空泵的放油口连接，并通过废油输送管道与气动隔膜泵的进口连接，气动隔膜泵的出口通过排油管与废油桶连接，在每条支管道上均设置有阀门Ⅰ，在废油输送管道上设置阀门Ⅱ，在排油管和气动隔膜泵的压缩空气管道上分别设置有控制阀。

所述真空泵的放油口与支管道之间通过连接软管连接，该连接软管为外层的塑料软管和内层的钢丝管嵌套而成的双层结构，能够克服真空泵运转时产生的机械震动对管道的损坏，内嵌钢丝管还具有防止因内部真空引起的软管变形的作用。

所述废油输送管道与气动隔膜泵的进口之间通过连接软管连接，该连接软管为外层的塑料软管和内层的钢丝管嵌套而成的双层结构，能够克服真空泵运转时产生的机械震动对管道的损坏，内嵌钢丝管还具有防止因内部真空引起的软管变形的作用。

所述排油管与气动隔膜泵的出口之间通过连接软管连接，该连接软管为外层的塑料软管和内层的钢丝管嵌套而成的双层结构，能够克服真空泵运转时产生的机械震动对管道的损坏，内嵌钢丝管还具有防止因内部真空引起的软管变形的作用。

所述废油收集管道上设置有阻断其与废油输送管道连通的控制阀。

有益效果：本实用新型通过采用气动隔膜泵、废油收集管道和若干支管道，实现了利用气动隔膜泵将真空泵中的废油自动抽送到废油桶内储存，避免人为更换泵油过程中的各种泄漏和洒落风险，最大限度的降低更换废油过程对人体和环境的伤害、污染；同时，采用特殊的连接软管进行连接，能够克服真空泵运转时产生的机械震动对管道的损坏，内嵌钢丝管还具有防止因内部真空引起的软管变形的作用。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为连接软管的结构示意图；

附图标记：1、真空泵，2、废油收集管道，3、支管道，4、阀门Ⅰ，5、控制阀，6、阀门Ⅱ，7、废油输送管道，8、气动隔膜泵，9、排油管，10、废油桶，11、压缩空气管道，12、连接软管，1201、塑料软管，1202、钢丝管。

具体实施方式

如图所示，一种单晶炉真空泵废油收集系统，包括气动隔膜泵8、废油桶10和废油收集管道2，其中，废油收集管道2通过若干支管道3分别与每个真空泵1的放油口连接，并通过废油输送管道7与气动隔膜泵8的进口连接，气动隔膜泵8的出口通过排油管9与废油桶10连接，在每条支管道3上均设置有阀门Ⅰ4（处于常闭状态），在废油输送管道7上设置阀门Ⅱ6（该阀门处于常开状态），在排油管9和气动隔膜泵8的压缩空气管道11上分别设置有控制阀（处于常闭状态）。

以上为本实用新型的基本实施方式，可在以上基础上做进一步的改进和优化：

如，所述真空泵1的放油口与支管道3之间通过连接软管12连接，该连接软管12为外层的塑料软管1201和内层的钢丝管1202嵌套而成的双层结构，能够克服真空泵1运转时产生的机械震动对管道的损坏，内嵌的钢丝管1202还具有防止因内部真空引起的塑料软管1201变形的作用；