[实用新型]一种用于平板表面质量的检测系统

权利要求书

1.一种用于平板表面质量的检测系统，其特征在于：沿光源发出光束的光路上依次设置准直透镜和数字微镜器件，且经准直透镜准直的光束与数字微镜器件的表面呈66°入射，此光束在垂直于数字微镜器件的表面的方向反射；经数字微镜器件反射的光束的光路上依次设置分光镜和色散透镜；待测平板对应于色散透镜的出射侧设置，且待测平板在垂直于光轴的方向上做横向往复移动。

2.根据权利要求1所述的一种用于平板表面质量的检测系统，其特征在于：所述数字微镜器件是一个由边长十微米左右的微反射镜构成的阵列；各所述微反射镜间的间隙为一微米左右。