[实用新型]一种用于平板表面质量的检测系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及应用于光学表面形貌测量领域与光学表面检测领域。

背景技术

平板表面质量问题主要包括平板表面的划痕、瑕疵等，划痕或瑕疵小、位置不固定等情况，是检测上的难题。目前的检测手段主要依靠人工，效率低下；亦有自动化检测设备，但大都是通用设备，对平板表面质量检测的针对性不强。

针对现有技术平板表面质量检测的技术难题，申请人进行深入的研究，遂有本案产生。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种用于平板表面质量的检测系统，其专门针对平板表面质量检测，极大地提高了针对平板表面质量问题的检测效率。

为了实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种用于平板表面质量的检测系统，沿光源发出光束的光路上依次设置准直透镜和数字微镜器件，且经准直透镜准直的光束与数字微镜器件的表面呈66°入射，此光束在垂直于数字微镜器件的表面的方向反射；经数字微镜器件反射的光束的光路上依次设置分光镜和色散透镜；待测平板对应于色散透镜的出射侧设置，且待测平板在垂直于光轴的方向上做横向往复移动。

所述数字微镜器件是一个由边长十微米左右的微反射镜构成的阵列；各所述微反射镜间的间隙为一微米左右。

采用上述方案后，与已有技术相比，本实用新型有益效果体现在：

将数字微镜器件作为线型光源，结合色散透镜产生线型色散光，可对平板表面进行横向线扫描，在无需沿光轴方向做纵向扫描的前提下利用垂直于光轴方向上的一维运动获取被测平板表面的三维信息，以及其表面的瑕疵、划痕等质量信息，极大地提高了针对平板表面质量问题的检测效率。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

具体实施方式

本实用新型一种用于平板表面质量的检测系统，如图1所示，沿光源1发出光束的光路上依次设置准直透镜2和数字微镜器件3，且经准直透镜2准直的光束以与数字微镜器件3的表面呈66°的角度入射在数字微镜器件3的表面，此光束在垂直于数字微镜器件3的表面的方向反射；在经数字微镜器件3反射的光束的光路上依次设置分光镜4和色散透镜5。

待测平板6对应于色散透镜5的出射侧设置，且待测平板6在垂直于光轴的方向上做横向往复移动。

分光镜4分出的光路上依次设置有光阑7和CCD摄像机8，光阑7起着阻挡杂散光的作用，CCD摄像机8用于收集来自于待测砂轮6表面的反射光，并转化为电信号进行后续处理。

本实用新型一种用于平板表面质量的检测系统的工作原理如下：

光源1发出的光束经过准直透镜2后形成平行光，此平行光以与数字微镜器件3的表面呈66°的角度入射在数字微镜器件3的表面，此平行光在垂直于数字微镜器件3的表面的方向反射，被数字微镜器件3调制后形成线型光，此线型光经过分光镜4后照射在色散透镜5表面，由色散透镜5对该线型光在光轴方向上进行色散，形成线型色散光51，并照射在待测平板6的待测表面；待测平板6的待测表面在垂直于光轴的方向上做横向往复移动，从而使线型色散光51对待测平板6的待测表面进行线扫描，在不对待测平板6在光轴方向上做纵向扫描的前提下，获得待测平板6表面的几何量信息以及检测其表面的质量情况。

数字微镜器件3采用公知的数字微镜器件，其是一个由边长十微米左右的微反射镜构成的阵列，各微反射镜间的间隙为一微米左右。色散透镜5可将线型光在光轴方向上色散，形成线型色散光51，线型色散光51是在光轴方向上进行色散分解后的光束。