[实用新型]熔石英亚表层微缺陷探测装置有效
| 申请号： | 201520629413.6 | 申请日： | 2015-08-20 |
| 公开（公告）号： | CN204855406U | 公开（公告）日： | 2015-12-09 |
| 发明（设计）人： | 刘红婕;蒋晓东;黄进;王凤蕊;孙来喜;耿峰;叶鑫;李青芝 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;G01N21/64 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 吴开磊 |
| 地址： | 621000 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 石英 表层 缺陷 探测 装置 | ||
1.一种熔石英亚表层微缺陷探测装置，用于评测放置于样品台上样品的激光损伤性能，其特征在于，包括激光器、成像系统、电子倍增电荷耦合元件和显示器，所述电子倍增电荷耦合元件和所述成像系统设置于同一直线，当该熔石英亚表层微缺陷探测装置工作时，所述激光器发出的激光直接照射至所述样品台上的样品，样品的亚表层微缺陷发出能使所述电子倍增电荷耦合元件采集的荧光，所述电子倍增电荷耦合元件与所述显示器电连接。
2.根据权利要求1所述的熔石英亚表层微缺陷探测装置，其特征在于，还包括所述样品台，所述样品台、所述电子倍增电荷耦合元件和所述成像系统位于同一直线，所述成像系统位于所述样品台和所述电子倍增电荷耦合元件之间。
3.根据权利要求1或2所述的熔石英亚表层微缺陷探测装置，其特征在于，所述成像系统包括物镜和目镜，所述物镜设置在靠近所述样品台的一端，所述目镜设置在靠近所述电子倍增电荷耦合元件的一端，所述物镜和所述目镜位于同一直线。
4.根据权利要求3所述的熔石英亚表层微缺陷探测装置，其特征在于，所述成像系统还包括用于吸收所述激光器的散射光的吸收滤色镜，所述吸收滤色镜设置于所述物镜与所述目镜之间。
5.根据权利要求4所述的熔石英亚表层微缺陷探测装置，其特征在于，还包括用于直接照射样品的白光光源。
6.根据权利要求5所述的熔石英亚表层微缺陷探测装置，其特征在于，所述激光器为紫外激光器。
7.根据权利要求6所述的熔石英亚表层微缺陷探测装置，其特征在于，所述紫外激光器到样品的光路之间还设置有聚焦透镜组。
8.根据权利要求7所述的熔石英亚表层微缺陷探测装置，其特征在于，还包括防止激光进入人眼或灼伤皮肤的截止器，所述截止器位于激光照射到样品台上的样品后的反射光路上。
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