[实用新型]一种多驱动腔非共轴真空泵有效
| 申请号： | 201520652643.4 | 申请日： | 2015-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN205383080U | 公开（公告）日： | 2016-07-13 |
| 发明（设计）人： | 潇然;荣易 | 申请（专利权）人： | 上海伊莱茨真空技术有限公司;苏州伊莱茨流体装备有限公司;潇然 |
| 主分类号： | F04C23/02 | 分类号： | F04C23/02;F04C25/02 |
| 代理公司： | 上海世贸专利代理有限责任公司 31128 | 代理人： | 章肇基 |
| 地址： | 201709 上海市青浦区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 驱动 腔非共轴 真空泵 | ||
【权利要求书】：
1.一种多驱动腔非共轴真空泵，包括多个独立的真空驱动腔，所述多个真空驱动腔串联连接形成多级真空驱动腔，每个独立的真空驱动腔内设置一对独立的转子，其特征在于所述多个真空驱动腔的气量主流方向与转子驱动轴形成垂直或30~90度大夹角，第一级真空驱动腔的入口直通大气，所述多个真空驱动腔全部或部分不共轴,所有不共轴的真空腔均采用独立的驱动电机驱动，所述多个真空驱动腔从上至下依次叠放成串联连接的多级真空驱动腔，下一级真空驱动腔的吸入口与上一级真空驱动腔的排气口连接，每级真空驱动腔的吸入口均位于上方，排气口均位于下方，真空驱动腔的两侧分别设有冷却水腔，每一个真空驱动腔的下方还设置一个夹套水层。
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