[实用新型]一种多驱动腔非共轴真空泵

说明书

技术领域

本实用新型涉及真空泵领域，具体的说是一种多驱动腔非共轴真空泵。

技术背景

在真空技术领域中，可以直接排大气且形成真空的设备主要有液环泵，直排大气气冷罗茨真空泵，喷射泵（含蒸汽喷射泵，水喷泵），滑阀泵，往复泵，旋片式真空泵（分为油式旋片真空泵和无油干式旋片真空泵），螺杆式真空泵，爪式真空泵，多级罗茨真空泵，涡旋式真空泵等。而普通罗茨真空泵能够形成较高真空，但排气压力不能够达到直排大气的压力，必须配备上述的真空泵作为前级泵才能够正常安全的运行。还有罗茨式气冷泵虽然可以直排大气,但由于必须引回已排出气体冷却后再回到泵腔里,导致效率降低、功耗和噪音很大，最高工作真空度只有约2万帕附近。

其中螺杆式真空泵，涡旋式真空泵，爪式泵，多级罗茨真空泵，直排大气气冷罗茨真空泵，往复泵，无油旋片式真空泵属于干式真空泵，即抽吸的工艺气体在真空泵泵腔内不接触工艺介质。而液环式真空泵，油旋片式真空泵，滑阀泵属于液体密封真空泵即非干式真空泵，喷射泵，抽吸的工艺气体会与真空泵内部的密封液进行混合。

因此对于非干式真空泵来说，像液环真空泵，蒸汽喷射泵，水喷射泵，抽吸介质中的若是存在有毒有害以及有腐蚀性气体则会溶于水中，由此产生大量的废水，如果不进行处理直接排放，会造成严重的环境污染。而像油旋片式真空泵，滑阀泵则因为密封液是润滑油，一般只能抽吸干净的空气，不能抽吸有机气体，易燃易爆，有毒有害以及带腐蚀性的气体，也不能抽吸水蒸气，同时产生的油雾也会对周围环境产生危害，同时该类真空泵需要经常更换润滑油，其产生的废油不经过处理也无法排放，同样对环境造成比较严重的伤害。

从节能减排、环境保护角度说，干式泵是未来发展的大趋势。但是干式真空泵虽然不会产生大量的废水，废油，对于环境的影响比非干式真空泵来说要小的多，但现市场上的各种类型的干式真空泵存在着很多先天性的不足之处，制约着其更广泛的使用。其中螺杆式真空泵存在容积小，大抽气量螺杆加工困难（一般很难超过2500m3/h,国内即使是等螺距的，质量比较可靠的，也只做到400m3/h），螺杆的螺环之间间距小，因腐蚀或异物磨损造成的间隙变化对螺杆泵的抽气量和真空度产生非常大的影响，同时螺杆式真空泵对于，强氧化性、强酸、粉尘、粘性物以及脱水结晶物的工艺介质不是很适合，长时间使用会严重损坏螺杆泵。涡旋式真空泵容积更小，且是偏心运行，最大抽气量不会超高100m3/h，抽吸的气体中不能有水蒸气，粉尘、腐蚀性，以及粘附性介质。爪式真空泵和多级罗茨真空泵由于结构复杂，最大的抽气量只在600m3/h，由于内部的特殊结构使得气流方向存在多次折返，极易在死角处累积粉尘或粘性物，不适合处理粉尘等有机气体。直排大气气冷罗茨真空泵真空度较差，一般极限真空只能达到200mbar，往复泵的效率较低，抽气量小，且真空度也比较差，最大极限真空在30mbar左右，特别是非常容易损坏，维修工作量大，影响生产。

从真空设备技术来说，现有的干式真空泵都存在各自不足的地方，使得在很多工艺情况下并不能直接用干式真空泵来替代液环泵、喷射泵，油式旋片泵等，难以实现节能环保。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种多驱动腔非共轴真空泵，所述多驱动腔非共轴真空泵是一款能够承受一定粉尘、一定腐蚀、便于维护、抽气量大的干式真空泵。

为了实现上述目的，本实用新型的技术方案是：一种多驱动腔非共轴真空泵，包括多个独立的真空驱动腔，所述多个真空驱动腔串联连接形成多级真空驱动腔，每个独立的真空驱动腔内设置一对独立的转子，其特征在于所述多个真空驱动腔的气量主流方向与转子驱动轴形成30~90度夹角（以90度为优选），所述多个真空驱动腔均采用独立的驱动电机驱动。

根据本方案的优选实施例，所述真空驱动腔中转子驱动轴呈水平方向设置，所述真空驱动腔的吸入口和排气口分别位于真空驱动腔的正上方和正下方或者正下方和正上方，或出气口在侧面，使得真空驱动腔的气量主流方向与转子驱动轴呈垂直方向，或30°以上大角度,目的是尽可能使气流方向与重力方向一致或接近。

根据本方案的优选实施例，所述多个真空驱动腔从上至下依次叠放成串联连接的多级真空驱动腔，下一级真空驱动腔的吸入口与上一级真空驱动腔的排气口连接，每级真空驱动腔的吸入口均位于上方，排气口均位于下方，或侧面，每一个真空驱动腔都采用独立的电机驱动。