[实用新型]一种多晶硅铸锭炉有效
| 申请号： | 201520654653.1 | 申请日： | 2015-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN204898122U | 公开（公告）日： | 2015-12-23 |
| 发明（设计）人： | 王增林 | 申请（专利权）人： | 宁夏金海金晶光电产业有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/06 | 分类号： | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙) 11411 | 代理人： | 郑自群 |
| 地址： | 753000 宁夏回族自治*** | 国省代码： | 宁夏;64 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 铸锭 | ||
1.一种多晶硅铸锭炉，其特征在于：包括炉体、坩埚、真空装置、加热装置、支撑板、升降装置；
所述炉体包括上炉体和下炉体；
所述下炉体内设有保温层，所述保温层内设置有所述加热装置；
所述下炉体内还设有2个以上的所述升降装置，所述升降装置上设有所述支撑板，所述支撑板上设有所述坩埚；
所述真空装置设于所述下炉体外，并与所述下炉体通过真空管路连接。
2.如权利要求1所述的多晶硅铸锭炉，其特征在于：所述保温层包括第一保温层和第二保温层。
3.如权利要求2所述的多晶硅铸锭炉，其特征在于：所述第一保温层为耐火保温纤维层，所述第二保温层为石墨碳砖层。
4.如权利要求3所述的多晶硅铸锭炉，其特征在于：所述加热装置为电极，所述电极对称安装在所述第二保温层内。
5.如权利要求1～4任一项所述的多晶硅铸锭炉，其特征在于：所述加热装置为石墨电极。
6.如权利要求1所述的多晶硅铸锭炉，其特征在于：所述下炉体内设置有5～50个升降装置。
7.如权利要求1所述的多晶硅铸锭炉，其特征在于：所述上炉体上设置有顶盖，所述顶盖上设置有保护气进口。
8.如权利要求1所述的多晶硅铸锭炉，其特征在于：所述上炉体和所述下炉体之间连接有密封盖。
9.如权利要求1所述的多晶硅铸锭炉，其特征在于：还包括控制机构，所述控制机构与所述密封盖连接。
10.如权利要求1所述的多晶硅铸锭炉，其特征在于：还包括冷却装置，所述冷却装置设置于所述上炉体内。
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