[实用新型]一种用于科学级CCD感光均匀性检测的检测装置有效
| 申请号： | 201520664667.1 | 申请日： | 2015-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN204855730U | 公开（公告）日： | 2015-12-09 |
| 发明（设计）人： | 巴荣声;姜宏振;郑垠波;陈波;袁静;周信达 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26 |
| 代理公司： | 成都弘毅天承知识产权代理有限公司 51230 | 代理人： | 杨保刚;赵宇 |
| 地址： | 621900*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 科学 ccd 感光 均匀 检测 装置 | ||
1.一种用于科学级CCD感光均匀性检测的检测装置，其特征在于：包括光纤激光器（1）、光纤（2）、光纤准直器（3）、第一劈板（4）、第一激光功率计（5）、电动平移台（7）和科学级CCD（8），所述科学级CCD（8）设置在电动平移台（7）上并可沿电动平移台（7）的水平方向、竖直方向移动；所述光纤激光器（1）产生的入射激光依次通过光纤（2）、光纤准直器（3）后照射到第一劈板（4）上；一部分激光透过第一劈板（4）形成透射激光，且该透射激光照射到第一激光功率计（5）上；另一部分激光在第一劈板（4）上产生反射形成反射激光，且该反射激光照射至科学级CCD（8）上；所述第一劈板（4）与科学级CCD（8）之间的光路上还设置有第二激光功率计（9）。
2.如权利要求1所述的一种用于科学级CCD感光均匀性检测的检测装置，其特征在于：所述电动平移台在背光一侧还设置有同步器（6），所述同步器（6）分别对应与科学级CCD（8）、第一激光功率计（5）电连接。
3.如权利要求1所述的一种用于科学级CCD感光均匀性检测的检测装置，其特征在于：还包括第二劈板（10），所述第一劈板（4）反射后的反射激光经第二劈板（10）再次反射后照射至科学级CCD（8）上。
4.如权利要求1或3所述的一种用于科学级CCD感光均匀性检测的检测装置，其特征在于：所述科学级CCD（8）的感光芯片与照射到感光芯片上的反射激光相互垂直。
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