[实用新型]一种用于激光直写曝光机的自动粘尘装置

权利要求书

1.一种用于激光直写曝光机的自动粘尘装置，包括机台（5），机台（5）上安装有支撑平台（6），支撑平台（6）上安装有曝光机头组（4），其特征在于：还包括自粘尘组件（1）和固定板（7），固定板（7）固定安装在支撑平台（6）的侧部且位于曝光机头组（4）前部面板的下方，自粘尘组件（1）安装在固定板（7）上；

自粘尘组件（1）包括左纵向运动支架（8）和右纵向运动支架（9），左纵向运动支架（8）与右纵向运动支架（9）两者结构相同，左滚筒架（18）安装在左纵向运动支架（8）上，右滚筒架（19）安装在右纵向运动支架（9）上，左滚筒架（18）和右滚筒架（19）之间安装有粘尘滚（20）；

右纵向运动支架（9）包括垂直固定安装在固定板（7）上的纵向滑座板（11），滑块（12）安装在纵向滑座板（11）上且与纵向滑座板（11）构成滑动配合，滑块（12）上设有固定圈（13），轴承（14）的外圈固定安装在固定圈（13）内，右滚筒架（19）固定安装在轴承（14）的内圈上，限位板（15）安装在纵向滑座板（11）上且位于滑块（12）的上方，螺钉（16）插在限位板（15）上且与限位板（15）构成滑动配合，螺钉（16）的下端固定安装在滑块（12）上，螺钉（16）上套有纵向弹簧（17），纵向弹簧（17）位于限位板（15）与滑块（12）之间。

2.根据权利要求1所述的一种用于激光直写曝光机的自动粘尘装置，其特征在于：所述的左滚筒架（18）贯穿左纵向运动支架（8）的左滑块（31），左纵向运动支架（8）的左纵向滑座板（32）上设有左椭圆孔（33），左椭圆孔（33）的位置与左滑块（31）的移动轨迹相对应，左滚筒架（18）上位于左滑块（31）的两侧均安装有卡环（21），卡环（21）的数量为2个；右滚筒架（19）贯穿滑块（12），纵向滑座板（11）上设有右椭圆孔（23），右椭圆孔（23）的位置与滑块（12）的移动轨迹相对应，右滚筒架（19）上安装有横向弹簧（22），横向弹簧（22）抵在轴承（14）上。

3.根据权利要求1所述的一种用于激光直写曝光机的自动粘尘装置，其特征在于：所述的机台（5）上安装有XY轴移动平台（2），XY轴移动平台（2）上放置有PCB板（3），粘尘滚（20）压在PCB板（3）上方。

4.根据权利要求1所述的一种用于激光直写曝光机的自动粘尘装置，其特征在于：所述的纵向滑座板（11）上设有纵向凹槽（24），滑块（12）上设有纵向凸起（25），纵向凸起（25）插在纵向凹槽（24）内。

5.根据权利要求2所述的一种用于激光直写曝光机的自动粘尘装置，其特征在于：还包括加固板（10），加固板（10）垂直安装在左纵向滑座板（32）和纵向滑座板（11）上。