[实用新型]一种用于激光直写曝光机的自动粘尘装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及激光直写曝光机技术领域，具体来说是一种用于激光直写曝光机的自动粘尘装置。

背景技术

在半导体光刻机领域中，PCB板除尘是光刻设备曝光前的重要工序，设备曝光工序前，需要将PCB板表面除尘。如果PCB板表面吸附有灰尘、金属屑、人体皮屑等颗粒物，曝光时会出现曝光不清晰甚至断点现象，因此PCB板除尘是光刻过程的技术难题。传统的PCB板除尘是人工用粘尘滚在PCB板上来回滚筒，达到除尘目的，此过程大概需要10~20秒，且此过程不可提前于曝光前太久，否则PCB板曝光前可能再次吸附灰尘，因此会大大影响工作效率，不利于PCB板曝光产能的提高。同时在曝光过程中，PCB板吸附在曝光平台上在X、Y两个方向前后左右移动，此过程中也有再次吸附灰尘颗粒的可能，同样会增加产品不良率。如何开发出一种能够在曝光过程中依然可以对PCB板利用粘尘滚进行除尘的装置已经成为急需解决的技术问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中无法在曝光过程中对PCB板进行除尘的缺陷，提供一种用于激光直写曝光机的自动粘尘装置来解决上述问题。

为了实现上述目的，本实用新型的技术方案如下：

一种用于激光直写曝光机的自动粘尘装置，包括机台，机台上安装有支撑平台，支撑平台上安装有曝光机头组，还包括自粘尘组件和固定板，固定板固定安装在支撑平台的侧部且位于曝光机头组前部面板的下方，自粘尘组件安装在固定板上；

自粘尘组件包括左纵向运动支架和右纵向运动支架，左纵向运动支架与右纵向运动支架两者结构相同，左滚筒架安装在左纵向运动支架上，右滚筒架安装在右纵向运动支架上，左滚筒架和右滚筒架之间安装有粘尘滚；

右纵向运动支架包括垂直固定安装在固定板上的纵向滑座板，滑块安装在纵向滑座板上且与纵向滑座板构成滑动配合，滑块上设有固定圈，轴承的外圈固定安装在固定圈内，右滚筒架固定安装在轴承的内圈上，限位板安装在纵向滑座板上且位于滑块的上方，螺钉插在限位板上且与限位板构成滑动配合，螺钉的下端固定安装在滑块上，螺钉上套有纵向弹簧，纵向弹簧位于限位板与滑块之间。

所述的左滚筒架贯穿左纵向运动支架的左滑块，左纵向运动支架的左纵向滑座板上设有左椭圆孔，左椭圆孔的位置与左滑块的移动轨迹相对应，左滚筒架上位于左滑块的两侧均安装有卡环，卡环的数量为2个；右滚筒架贯穿滑块，纵向滑座板上设有右椭圆孔，右椭圆孔的位置与滑块的移动轨迹相对应，右滚筒架上安装有横向弹簧，横向弹簧抵在轴承上。

所述的机台上安装有XY轴移动平台，XY轴移动平台上放置有PCB板，粘尘滚压在PCB板上方。

所述的纵向滑座板上设有纵向凹槽，滑块上设有纵向凸起，纵向凸起插在纵向凹槽内。

还包括加固板，加固板垂直安装在左纵向滑座板和纵向滑座板上。

有益效果

本实用新型的一种用于激光直写曝光机的自动粘尘装置，与现有技术相比不仅使得除尘工作实现非人工化处理，并且在曝光过程中依然可以对PCB板进行除尘作业。通过在右滚筒架上安装横向弹簧的设计，可以方便地装卸粘尘滚。通过左纵向运动支架和右纵向运动支架的设计，使得粘尘滚可以贴紧PCB板进行除尘，且不受粘尘滚的粘尘膜失效后，撕去粘尘膜而造成粘尘滚直径变小，无法贴服PCB板粘尘的影响。其结构简单、成本低廉，有效的解决了PCB板曝光前的除尘问题，提高了产能、降低了不良率。

附图说明

图1为本实用新型的结构立体图；

图2为本实用新型中自粘尘组件的结构立体图；

图3为本实用新型中自粘尘组件的结构正视图；

图4为图3的A点放大图；

图5为右纵向运动支架的结构爆炸图；

图6为左纵向运动支架的结构爆炸图；

其中，1-自粘尘组件、2-XY轴移动平台、3-PCB板、4-曝光机头组、5-机台、6-支撑平台、7-固定板、8-左纵向运动支架、9-右纵向运动支架、10-加固板、11-纵向滑座板、12-滑块、13-固定圈、14-轴承、15-限位板、16-螺钉、17-纵向弹簧、18-左滚筒架、19-右滚筒架、20-粘尘滚、21-卡环、22-横向弹簧、23-右椭圆孔、24-纵向凹槽、25-纵向凸起、31-左滑块、32-左纵向滑座板、33-左椭圆孔。

具体实施方式

为使对本实用新型的结构特征及所达成的功效有更进一步的了解与认识，用以较佳的实施例及附图配合详细的说明，说明如下：