[实用新型]测量装置和自动减薄机

权利要求书

1.一种测量装置，其特征在于，包括：基准台、弹性臂和测量头；

所述弹性臂的一端与所述基准台连接，所述弹性臂的另一端与所述测量头连接；所述弹性臂用于按照预设频率带动所述测量头上下移动；

所述测量头上设置有与所述测量头电连接的显示屏，所述测量头用于测量晶圆片的厚度，所述显示屏用于显示测量数据。

2.根据权利要求1所述的测量装置，其特征在于，还包括固定装置；

所述弹性臂与所述测量头之间通过所述固定装置固定连接。

3.根据权利要求1所述的测量装置，其特征在于，所述测量头还与报警装置电连接。

4.根据权利要求1至3任一所述的测量装置，其特征在于，所述测量数据为：晶圆片厚度的测量值，或者晶圆片厚度的测量值与目标值的差值。

5.一种自动减薄机，其特征在于，包括：工作台、砂轮，以及如权利要求1至4任一所述的测量装置；

所述工作台绕位于所述工作台中心的工作轴旋转，所述工作台用于放置晶圆片；

所述砂轮与所述工作台相对设置且位于所述工作台的一侧；所述砂轮可绕砂轮轴心旋转，且可接近或者远离所述工作台，所述砂轮用于磨削所述晶圆片；

所述测量装置位于所述工作台的远离所述砂轮的另一侧。