[实用新型]镀膜装置及其载具

权利要求书

1.一种载具，用于工件镀膜，其特征在于，所述载具包括：

本体，所述本体上开设有第一开口、第二开口以及第一空腔，所述第一开口和所述第二开口分别与所述第一空腔连通，且所述第一开口和所述第二开口相对；

容纳结构，所述容纳结构设置在所述第一空腔内，所述容纳结构包括第三开口、第四开口以及第二空腔，所述第三开口和所述第四开口分别与所述第二空腔连通，所述第三开口和所述第四开口相对所述第二空腔的横截面的形状与所述工件的形状相适配；从所述第三开口到所述第四开口的方向上，所述第二空腔的横截面的面积逐渐减少，且所述第四开口的面积小于所述工件的最大横截面的面积。

2.根据权利要求1所述的载具，其特征在于，多个所述容纳结构位于所述第一空腔内，且所述多个容纳结构呈网格状分布。

3.根据权利要求2所述的载具，其特征在于，所述多个容纳结构之间可拆卸连接。

4.根据权利要求2所述的载具，其特征在于，所述本体和所述多个容纳结构一体成型。

5.根据权利要求1所述的载具，其特征在于，所述第二空腔的内壁上开设有多个凹槽，所述多个凹槽位于同一水平面上，且所述多个凹槽相互连通。

6.根据权利要求5所述的载具，其特征在于，所述凹槽所在的水平面和所述第四开口所在的水平面之间的垂直距离小于等于2毫米。

7.根据权利要求1所述的载具，其特征在于，在从所述第三开口到所述第四开口的方向上，所述第二空腔形状为倒梯形状。

8.根据权利要求7所述的载具，其特征在于，所述第二空腔的垂直高度为5-10毫米。

9.根据权利要求1所述的载具，其特征在于，所述第二空腔的内壁的四周设有多个凸起，所述多个凸起位于同一水平面上，且所述多个凸起依次连接。

10.一种镀膜装置，其特征在于，包括如权利要求1-9中任一项所述的载具。