[实用新型]用于保护芯片选择性部分的刚性掩模

权利要求书

1.一种刚性掩模(10)，其特征在于，用于在用于生化反应的芯片(1)的化学/物理处理期间保护所述芯片(1)的选择性部分，其中所述芯片包括多个井(5)，所述生化反应在所述井处发生，所述井具有底部(17)并且根据图案进行布置，

所述刚性掩模(10)此外在至少第一方向(Z)上相对于所述芯片(1)是活动的，并且所述刚性掩模包括：

-支撑部分(12)；以及

-多个支腿(14)，每个支腿均设置有刚性芯柱(14a)和板(14b)，所述刚性芯柱具有固定至所述支撑部分的第一端以及固定至所述板的第二端，

其中所述支腿(14)根据所述图案而固定至所述支撑部分(12)并且以以下方式配置：当每个所述支腿(14)插入在对应的井(5)中时，相应的板(14b)至少部分地覆盖所述井的底部，从而在所述化学/物理处理期间提供保护。

2.根据权利要求1所述的刚性掩模，其特征在于，所述支撑部分(12)和所述多个支腿(14)由金属材料形成。

3.根据权利要求1或权利要求2所述的刚性掩模，其特征在于，所述支撑部分(12)至少包括由铁磁金属材料形成的区域。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的刚性掩模，其特征在于，所述第一方向平行于(Z)轴延伸，(Z)轴与所述井(5)的相应底部(17)的所在平面(XY)正交。

5.根据权利要求1至3中任一项所述的刚性掩模，其特征在于，每个板(14b)具有在所述井(5)的相应底部(17)的所在平面(XY)上测得的尺寸，所述尺寸等于或小于所述井(5)的底部在所在平面(XY)上测得的尺寸。

6.根据权利要求1至3中任一项所述的刚性掩模，其特征在于，相应井(5)的所述底部中的每一个在其所在平面(XY)上均具有从带有相应直径的圆形和多边形之间选出的形状，并且其中所述板(14b)中的每一个在所述所在平面(XY)上均具有从以下形状中选出的形状：具有等于或小于相应底部(17)的直径的直径的圆形；具有等于或小于相应底部的直径的直径的多边形；以及具有等于或小于相应底部的直径的长轴的椭圆形。

7.根据权利要求1至3中任一项所述的刚性掩模，其特征在于，所述支撑结构(12)以以下方式成形：当每个支腿(14)插入在对应的井(5)中时，所述井(5)是能够流体进入的。

8.根据权利要求7所述的刚性掩模，其特征在于，所述支撑结构(12)设置有至少一个贯通开口(15)，使得所述井(5)通过所述贯通开口是能够流体进入的。

9.根据权利要求1至3中任一项所述的刚性掩模，其特征在于，每个井(5)的所述底部(17)具有根据沟槽路径而产生的沟槽(24)，

并且其中所述板(14b)包括伸出区域(29)，所述伸出区域以与所述沟槽路径一致的方式产生，并且所述伸出区域以当相应板(14b)至少部分地覆盖相应井(5)的底部(17)时穿入到所述沟槽(24)的方式配置。

10.根据权利要求4所述的刚性掩模，其特征在于，还包括多个对准标记(19)，所述多个对准标记布置在所述支撑结构(12)与相应支腿(14)之间，并且所述多个对准标记在所述所在平面(XY)上均具有使得所述对准标记(19)能插入在相应的井(5)中的空间延伸部以及比相应的井的入口区段的面积更小的相应面积。

11.根据权利要求4所述的刚性掩模，其特征在于，所述刚性芯柱(14a)在所述所在平面(XY)上具有小于相应的井(5)在所述所在平面(XY)上的对应尺寸的尺寸。