[实用新型]一种磁控溅射镀膜用的平面阴极

权利要求书

1.一种磁控溅射镀膜用的平面阴极，其特征在于，包括溅射靶、靶套、真空腔体、绝缘座、阴极座、铜背板、可调磁极板、基片架，所述靶套通过第一真空密封圈与所述真空腔体密封连接；所述绝缘座通过第二真空密封圈与所述靶套连接；所述阴极座通过第三真空密封圈与所述绝缘座连接；所述铜背板通过第四真空密封圈与所述阴极座连接；所述阴极座与所述铜背板之间形成冷却水腔；所述溅射靶固定在所述铜背板上；所述可调磁极板固定在所述冷却水腔内，所述可调磁极板与所述基片架连接。

2.根据权利要求1所述的一种磁控溅射镀膜用的平面阴极，其特征在于，所述靶套紧固连接有阳极座，所述靶套与所述阳极座之间设置有工艺进气道，所述阳极座上紧固连接有均气压板。

3.根据权利要求2所述的一种磁控溅射镀膜用的平面阴极，其特征在于，所述可调磁极板设置有S极磁极、N极磁极、极靴座、极靴盖、磁板定位柱、磁板锁紧螺母、水密封盖、调整座、调整杆和调整螺母；所述S极磁极和N极磁极处在所述极靴座与所述极靴盖之间形成的极靴空间里，所述S极磁极和N极磁极固定在所述磁极板定位柱上，所述磁板锁紧螺母、所述调整螺母分别与所述调整杆配合连接，所述调整杆通过第五真空密封圈与所述阴极座连接，所述调整螺母固定在所述调整座上。

4.根据权利要求3所述的一种磁控溅射镀膜用的平面阴极，其特征在于，所述阴极座设置有进水孔和出水孔，所述进水孔和出水孔分别与所述冷却水腔相连。

5.根据权利要求4所述的一种磁控溅射镀膜用的平面阴极，其特征在于，所述绝缘座的材料为聚甲醛。