[实用新型]微机电振动传感器以及电子设备

说明书

技术领域

本实用新型涉及微机电振动传感器。

背景技术

众所周知，检测主体中的振动的一个方法是使用被刚性地连接至主体本身的微机电加速度计。微机电加速度计呈现出具有小尺寸连同具有非常高的灵敏度和非常低的消耗水平的优点。因此甚至在小型便携式设备中也容易包含微机电加速度计并因此显著扩大了可得到的功能的范围。特别地，由传感器供应的信号可以被处理用于提取关于所检测的事件的性质的信息。例如，一些便携式通信和/或处理设备(智能电话、平板电脑、便携式计算机)设置有触摸屏。触摸检测系统正常情况下仅使得能够定位触摸事件并且很可能是追踪屏幕上的移动。加速度计的使用可以使得能够实现如何已经产生触摸事件(通过指尖、指甲、指关节、硬的尖端等)的判别。此外，大多数当前便携式通信和/或处理设备已设置有用于与振动的检测不同的功能的加速度计(例如，微机电加速度计常用于确定设备的定向或用于识别自由落体条件)。

微机电加速度计总体包括被弹性地约束至支撑结构的移动质量体。移动质量体通过移动和固定电极的系统被进一步电容性地耦合至支撑机构。

然而，常用的微机电加速度计的结构复杂，并且其生产成本高。另外，微机电加速度计的带宽有时不足以使得能够实现事件(诸如在屏幕上的触摸事件等)的判别。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种微机电振动传感器以及电子设备，以至少部分地解决上述问题。

根据本公开的一个方面，提供了一种微机电振动传感器，包括：

第一室；

第二室；

在所述第一室与所述第二室之间的半导体隔膜；

被电容性地耦合至所述隔膜的参考电极；以及

封装结构，所述封装结构将所述第一室、所述第二室和所述隔膜包封并与所述封装结构外的环境声学地隔离。

优选地，所述微机电振动传感器包括具有空腔的基底，所述空腔限定所述第一室。

优选地，所述隔膜被锚固至所述基底并且布置成覆盖所述第一室的一侧。

优选地，所述第一室在与所述隔膜相对的一侧上由所述封装结构界定。

优选地，所述微机电振动传感器包括被接合至所述基底并支撑所述参考电极的支撑结构。

优选地，所述支撑结构至少部分地界定所述第二室。

优选地，所述支撑结构包括刚性电介质板。

优选地，所述支撑结构包括半导体主体。

优选地，所述封装结构包括集成电路封装。

优选地，所述微机电振动传感器包括被耦合至所述隔膜的辅助质量体。

根据本公开的另一方面，提供了一种电子设备，包括：

微机电振动传感器，包括：

第一室；

第二室；

在所述第一室与所述第二室之间的半导体隔膜；

被电容性地耦合至所述隔膜的参考电极；以及

封装结构，所述封装结构将所述第一室、所述第二室和所述隔膜包封并与所述封装结构外的环境声学地隔离；以及

触摸屏，所述微机电振动传感器被刚性地耦合至所述触摸屏，其中所述微机电振动传感器被配置成检测所述触摸屏的振动。

优选地，所述电子设备包括被耦合至所述微机电传感器的处理单元。

优选地，所述处理单元包括：存储器模块，包含典型触摸事件的模板；和分类引擎，被配置成基于存储在所述存储器模块中的所述模板将由所述微机电振动传感器检测到的触摸事件分类。

优选地，所述封装结构包括所述触摸屏的一部分。

优选地，所述设备是平板电脑、便携式计算机、可穿戴设备和拍摄设备中的至少一种。

所描述的振动传感器呈现出传统微机电加速度计相比制造简单且具有较宽检测带宽的微机电换能器的优点。

附图说明

为了更好地理解实用新型，现在将纯粹以非限制性示例的方式并参照附图来描述实用新型的实施例，其中：

图1是包含了根据本实用新型的实施例的微机电振动传感器的电子设备的部分截面侧视图；

图2是穿过图1的微机电振动传感器的截面；

图3是穿过图1的微机电振动传感器的部件的放大比例的截面；

图4是图1的微机电振动传感器的分解立体图；

图5是图1的微机电振动传感器的简化框图；

图6是图1的电子设备的简化框图；