[实用新型]三甲基铟接收装置有效
申请号: | 201520757196.9 | 申请日: | 2015-09-28 |
公开(公告)号: | CN205034817U | 公开(公告)日: | 2016-02-17 |
发明(设计)人: | 谢贤清;王志龙;徐明;马玉峰;黄建 | 申请(专利权)人: | 江西佳因光电材料有限公司 |
主分类号: | B65G69/20 | 分类号: | B65G69/20;B65G65/32 |
代理公司: | 北京润平知识产权代理有限公司 11283 | 代理人: | 邝圆晖;李翔 |
地址: | 330013 江西省南*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 甲基 接收 装置 | ||
1.一种三甲基铟接收装置,其特征在于,该三甲基铟接收装置包括解配釜(1)、真空缓冲罐(3)和手套箱(5),所述手套箱(5)中设有密闭的粗品接收罐(2)和顶部开口的冷阱(7),所述粗品接收罐(2)设置在所述冷阱(7)中,所述粗品接收罐(2)通过料管(17)连接所述解配釜(1)并通过抽气管(18)连接所述真空缓冲罐(3),所述料管(17)的靠近所述粗品接收罐(2)的一端设有接收阀(12),所述料管(17)的靠近所述解配釜(1)的一端设有出料阀(11),所述抽气管(18)与所述粗品接收罐(2)之间设有抽气阀(13),并且所述料管(17)和所述抽气管(18)中均设有加热丝(6)。
2.根据权利要求1所述的三甲基铟接收装置,其特征在于,所述三甲基铟接收装置还包括液氮罐(4),所述冷阱(7)的底部设有液氮阀(8),所述液氮罐(4)通过所述液氮阀(8)连接所述冷阱(7),所述手套箱(5)的顶部设有用于排出氮气的排气阀(9)。
3.根据权利要求2所述的三甲基铟接收装置,其特征在于,所述液氮阀(8)和所述排气阀(9)为电磁阀。
4.根据权利要求3所述的三甲基铟接收装置,其特征在于,所述冷阱(7)的一侧设有液位感应器(10),所述液氮阀(8)和所述排气阀(9)配置为根据所述液位感应器(10)的感应液位进行开关切换。
5.根据权利要求1所述的三甲基铟接收装置,其特征在于,所述三甲基铟接收装置还包括真空泵(15),所述真空泵(15)连接所述真空缓冲罐(3)以抽吸所述粗品接收罐(2)内的尾气。
6.根据权利要求5所述的三甲基铟接收装置,其特征在于,所述真空缓冲罐(3)为多个,多个所述真空缓冲罐(3)相互串联在所述粗品接收罐(2)与所述真空泵(15)之间。
7.根据权利要求1所述的三甲基铟接收装置,其特征在于,所述真空缓冲罐(3)设置在冷却装置(14)中。
8.根据权利要求1所述的三甲基铟接收装置,其特征在于,所述手套箱(5)为透明且密封的箱体。
9.根据权利要求1所述的三甲基铟接收装置,其特征在于,所述冷阱(7)内的底部设有平台支架(16),所述粗品接收罐(2)设置在所述平台支架(16)上。
10.根据权利要求1所述的三甲基铟接收装置,其特征在于,所述接收阀(12)与料管(17)之间以及所述抽气阀(13)与所述抽气管(18)之间通过金属软管(19)相连。
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