[实用新型]三甲基铟接收装置

权利要求书

1.一种三甲基铟接收装置，其特征在于，该三甲基铟接收装置包括解配釜(1)、真空缓冲罐(3)和手套箱(5)，所述手套箱(5)中设有密闭的粗品接收罐(2)和顶部开口的冷阱(7)，所述粗品接收罐(2)设置在所述冷阱(7)中，所述粗品接收罐(2)通过料管(17)连接所述解配釜(1)并通过抽气管(18)连接所述真空缓冲罐(3)，所述料管(17)的靠近所述粗品接收罐(2)的一端设有接收阀(12)，所述料管(17)的靠近所述解配釜(1)的一端设有出料阀(11)，所述抽气管(18)与所述粗品接收罐(2)之间设有抽气阀(13)，并且所述料管(17)和所述抽气管(18)中均设有加热丝(6)。

2.根据权利要求1所述的三甲基铟接收装置，其特征在于，所述三甲基铟接收装置还包括液氮罐(4)，所述冷阱(7)的底部设有液氮阀(8)，所述液氮罐(4)通过所述液氮阀(8)连接所述冷阱(7)，所述手套箱(5)的顶部设有用于排出氮气的排气阀(9)。

3.根据权利要求2所述的三甲基铟接收装置，其特征在于，所述液氮阀(8)和所述排气阀(9)为电磁阀。

4.根据权利要求3所述的三甲基铟接收装置，其特征在于，所述冷阱(7)的一侧设有液位感应器(10)，所述液氮阀(8)和所述排气阀(9)配置为根据所述液位感应器(10)的感应液位进行开关切换。

5.根据权利要求1所述的三甲基铟接收装置，其特征在于，所述三甲基铟接收装置还包括真空泵(15)，所述真空泵(15)连接所述真空缓冲罐(3)以抽吸所述粗品接收罐(2)内的尾气。

6.根据权利要求5所述的三甲基铟接收装置，其特征在于，所述真空缓冲罐(3)为多个，多个所述真空缓冲罐(3)相互串联在所述粗品接收罐(2)与所述真空泵(15)之间。

7.根据权利要求1所述的三甲基铟接收装置，其特征在于，所述真空缓冲罐(3)设置在冷却装置(14)中。

8.根据权利要求1所述的三甲基铟接收装置，其特征在于，所述手套箱(5)为透明且密封的箱体。

9.根据权利要求1所述的三甲基铟接收装置，其特征在于，所述冷阱(7)内的底部设有平台支架(16)，所述粗品接收罐(2)设置在所述平台支架(16)上。

10.根据权利要求1所述的三甲基铟接收装置，其特征在于，所述接收阀(12)与料管(17)之间以及所述抽气阀(13)与所述抽气管(18)之间通过金属软管(19)相连。