[实用新型]三甲基铟接收装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种接收装置，具体地，涉及一种三甲基铟接收装置。

背景技术

三甲基铟是LED外延生长中非常重要的一种金属有机化合物，三甲基铟在常温常压下为无色透明具有特殊臭味的升华性无色结晶，其化学性质非常活泼，遇水爆炸，遇空气燃烧，且三甲基铟为固体高纯金属有机源(Mo源)，因此按常规装置与方法接收使得三甲基铟极易暴露于空气中，导致起火等安全隐患，又由于三甲基铟在常温常压下为无色的结晶，使得在接收时容易造成接收管道堵塞。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种三甲基铟接收装置，该三甲基铟接收装置避免料管堵塞，实现三甲基铟的安全接收。

为了实现上述目的，根据本实用新型的一方面，提供了一种三甲基铟接收装置，该三甲基铟接收装置包括解配釜、真空缓冲罐和手套箱，所述手套箱中设有密闭的粗品接收罐和顶部开口的冷阱，所述粗品接收罐设置在所述冷阱中，所述粗品接收罐通过料管连接所述解配釜并通过抽气管连接所述真空缓冲罐，所述料管的靠近所述粗品接收罐的一端设有接收阀，所述料管的靠近所述解配釜的一端设有出料阀，所述抽气管与所述粗品接收罐之间设有抽气阀，并且所述料管和所述抽气管中均设有加热丝。

优选地，所述三甲基铟接收装置还包括液氮罐，所述冷阱的底部设有液氮阀，所述液氮罐通过所述液氮阀连接所述冷阱，所述手套箱的顶部设有用于排出氮气的排气阀。

优选地，所述液氮阀和所述排气阀为电磁阀。

优选地，所述冷阱的一侧设有液位感应器，所述液氮阀和所述排气阀配置为根据所述液位感应器的感应液位进行开关切换。

优选地，所述三甲基铟接收装置还包括真空泵，所述真空泵连接所述真空缓冲罐以抽吸所述粗品接收罐内的尾气。

优选地，所述真空缓冲罐为多个，多个所述真空缓冲罐相互串联在所述粗品接收罐与所述真空泵之间。

优选地，所述真空缓冲罐设置在冷却装置中。

优选地，所述手套箱为透明且密封的箱体。

优选地，所述冷阱内的底部设有平台支架，所述粗品接收罐设置在所述平台支架上。

优选地，所述接收阀与料管之间以及所述抽气阀与所述抽气管之间通过金属软管相连。

通过上述技术方案，本实用新型通过在粗品接收罐与解配釜之间的料管和粗品接收罐与真空缓冲罐之间的抽气管中设有加热丝，可以将料管中的三甲基铟气化至粗品接收罐中，而不冷却在料管中以堵塞料管；又由于粗品接收罐连接真空缓冲罐，通过控制接收阀、出料阀和抽气阀，真空缓冲罐能够抽吸粗品接收罐内的尾气，使得粗品接收罐与真空缓冲罐之间形成压差，从而使得料管中残留的三甲基铟抽吸至粗品接收罐中，因此避免了料管的堵塞。三甲基铟的接收在手套箱中操作，尤其是粗品接收罐的拆装过程也在手套箱中进行，使得有效地与空气隔绝，从而避免发生泄漏燃烧，造成重大事故的隐患，实现了三甲基铟的安全接收。

本实用新型的其它特征和优点将在随后的具体实施方式部分予以详细说明。

附图说明

附图是用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本实用新型，但并不构成对本实用新型的限制。在附图中：

图1是根据本实用新型的优选实施方式中三甲基铟接收装置的结构示意图。

附图标记说明

1解配釜2粗品接收罐

3真空缓冲罐4液氮罐

5手套箱6加热丝

7冷阱8液氮阀

9排气阀10液位感应器

11出料阀12接收阀

13抽气阀14冷却装置

15真空泵16平台支架

17料管18抽气管

19金属软管

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本实用新型，并不用于限制本实用新型。

在本实用新型中，在未作相反说明的情况下，使用的方位词如“上、下”通常是针对附图所示的方向而言的或者是针对竖直、垂直或重力方向上而言的各部件相互位置关系描述用词。