[实用新型]一种坩埚自动存取柜

权利要求书

1.一种坩埚自动存取柜，包括柜体（1），所述柜体（1）上开设有坩埚存取口（11），其特征在于，所述柜体（1）内设有升降组件（2）和吸附组件（3），所述吸附组件（3）靠近坩埚存取口（11）设置用于吸附需存取的坩埚（4），所述升降组件（2）设于吸附组件（3）的下方，所述升降组件（2）上设有依次堆叠的数个坩埚（4），所述升降组件（2）带动坩埚（4）上下升降并与吸附组件（3）配合以完成坩埚（4）的存取。

2.根据权利要求1所述的坩埚自动存取柜，其特征在于，所述吸附组件（3）包括一个以上的气吸式吸盘（31）和用于检测坩埚（4）吸附时位置信息的坩埚检测模块（32），所述气吸式吸盘（31）设于升降组件（2）上堆叠的坩埚（4）的上方用于吸附需存取的坩埚（4）。

3.根据权利要求1所述的坩埚自动存取柜，其特征在于，所述吸附组件（3）包括一个以上的磁吸式通电磁铁（33）和用于检测坩埚（4）吸附时位置信息的坩埚检测模块（32），所述坩埚（4）上设有用于与通电磁铁（33）相磁吸配合的磁性部，所述通电磁铁（33）设于升降组件（2）上堆叠的坩埚（4）的上方用于吸附需存取的坩埚（4）。

4.根据权利要求1～3中任意一项所述的坩埚自动存取柜，其特征在于，所述升降组件（2）包括升降平台板（21）、升降驱动电机（22）和升降驱动丝杆（23），所述升降平台板（21）设于吸附组件（3）的下方，所述升降平台板（21）上设有依次堆叠的数个坩埚（4），所述升降驱动电机（22）驱动升降平台板（21）沿升降驱动丝杆（23）上下运动。

5.根据权利要求1～3中任意一项所述的坩埚自动存取柜，其特征在于，所述坩埚（4）呈圆盘式结构，所述坩埚（4）的底部直径小于坩埚（4）的开口直径以使上下两个坩埚（4）间形成堆叠。