[实用新型]一种存取分开式的坩埚自动存取柜

权利要求书

1.一种存取分开式的坩埚自动存取柜，包括柜体（1），其特征在于，所述柜体（1）侧壁下部开设有坩埚存放口（11）、且侧壁上部开设有坩埚取出口（12），所述柜体（1）内从上至下依次设有用于吸附坩埚（2）的吸附组件（3）、用于存储坩埚（2）的坩埚挂板组件（4）和用于带动坩埚（2）上下运动的升降组件（5），多个所述坩埚（2）依次叠加且挂载于坩埚挂板组件（4）上，所述升降组件（5）靠近坩埚存放口（11）设置用于将要存放的坩埚（2）向上提升并挂载在坩埚挂板组件（4）上，所述吸附组件（3）靠近坩埚取出口（12）设置且处于坩埚挂板组件（4）的上方用于吸附经升降组件（5）提升上来的坩埚（2）。

2.根据权利要求1所述的存取分开式的坩埚自动存取柜，其特征在于，所述坩埚挂板组件（4）包括挂板固定座（41）和两块以上对称设置于挂板固定座（41）侧壁上的坩埚挂板（42），每块所述坩埚挂板（42）与挂板固定座（41）侧壁垂直连接，每个所述连接处设有用于使坩埚挂板（42）向上翻转的挂板转轴（43），每个所述连接处还设有用于使向上翻转后的坩埚挂板（42）向下复位至水平状的复位扭簧（44）。

3.根据权利要求2所述的存取分开式的坩埚自动存取柜，其特征在于，所述坩埚（2）呈圆盘式结构，所述坩埚（2）的开口边沿处设有凸出部以使坩埚（2）通过凸出部挂载于坩埚挂板（42）上，所述坩埚（2）的底部直径小于坩埚（2）的开口直径以使上下两个坩埚（2）间形成堆叠。

4.根据权利要求1～3中任意一项所述的存取分开式的坩埚自动存取柜，其特征在于，所述吸附组件（3）包括一个以上的气吸式吸盘（31）和用于检测坩埚（2）吸附时位置信息的取坩埚检测模块（32），所述气吸式吸盘（31）设于坩埚挂板组件（4）上堆叠的坩埚（2）的上方用于吸附经升降组件（5）提升上来的坩埚（2）。

5.根据权利要求1～3中任意一项所述的存取分开式的坩埚自动存取柜，其特征在于，所述吸附组件（3）包括一个以上的磁吸式通电磁铁（33）和用于检测坩埚（2）吸附时位置信息的取坩埚检测模块（32），所述坩埚（2）上设有用于与通电磁铁（33）相磁吸配合的磁性部，所述通电磁铁（33）设于坩埚挂板组件（4）上堆叠的坩埚（2）的上方用于吸附经升降组件（5）提升上来的坩埚（2）。

6.根据权利要求1～3中任意一项所述的存取分开式的坩埚自动存取柜，其特征在于，所述升降组件（5）包括升降平台板（51）、升降驱动电机（52）和升降驱动丝杆（53），所述升降驱动电机（52）驱动升降平台板（51）沿升降驱动丝杆（53）上下运动，所述升降平台板（51）设于坩埚挂板组件（4）的下方用于带动坩埚（2）向上运动以挂载于坩埚挂板组件（4）上或吸附于吸附组件（3）上，所述升降组件（5）的下方设有用于检测坩埚（2）存放时位置信息的存坩埚检测模块（54）。