[实用新型]残余物料回收装置有效

申请号：	201520770431.6	申请日：	2015-09-30
公开（公告）号：	CN205035461U	公开（公告）日：	2016-02-17
发明（设计）人：	吴伟;谢贤清;江建峰;陈飞彪;马玉峰;张志伟	申请（专利权）人：	江西佳因光电材料有限公司
主分类号：	C23C16/18	分类号：	C23C16/18
代理公司：	北京润平知识产权代理有限公司 11283	代理人：	胡冬冬;黄志兴
地址：	330013 江西省南***	国省代码：	江西;36
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摘要：
搜索关键词：	残余物料回收装置
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【权利要求书】：

1.一种残余物料回收装置，其特征在于，所述残余物料回收装置包括残余物料容器(1)、缓冲罐(2)、第一管路(3)和抽真空装置(4)，所述第一管路(3)将所述容器(1)与所述缓冲罐(2)连接，所述抽真空装置(4)通过第二管路(5)连接于所述缓冲罐(2)，所述残余物料容器(1)中的残余物料能够通过所述第一管路(3)进入到所述缓冲罐(2)。

2.根据权利要求1所述的残余物料回收装置，其特征在于，所述第一管路(3)和/或所述第二管路(5)上连接有检漏装置(6)。

3.根据权利要求1所述的残余物料回收装置，其特征在于，所述缓冲罐(2)容纳在冷却装置(7)中。

4.根据权利要求3所述的残余物料回收装置，其特征在于，所述冷却装置(7)为冷阱。

5.根据权利要求1所述的残余物料回收装置，其特征在于，所述残余物料回收装置还包括连接于所述第一管路(3)和/或所述第二管路(5)的置换气体源(8)。

6.根据权利要求5所述的残余物料回收装置，其特征在于，所述第一管路(3)上设置有第一阀门(31)。

7.根据权利要求6所述的残余物料回收装置，其特征在于，所述第二管路(5)上设置有第二阀门(51)。

8.根据权利要求1所述的残余物料回收装置，其特征在于，所述第一管路(3)上连接有压力表(9)。

9.根据权利要求1所述的残余物料回收装置，其特征在于，所述容器(1)通过金属软管连接于所述第一管路(3)。

10.根据权利要求1-9中任意一项所述的残余物料回收装置，其特征在于，所述残余物料为MO源。

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