[实用新型]残余物料回收装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及化工设备技术领域，具体地，涉及一种残余物料回收装置。

背景技术

MO源即高纯金属有机化合物，是采用金属有机化学气相沉积(MOCVD)技术进行外延生长时的支撑材料，如GaAs、GaN、InP、AlGaAs等化合物半导体超薄型膜材料，可用来生产LED外延片、HEMT器件、半导体激光器、太阳能电池等；是发展光电子产业的关键材料之一，也是生产高亮度、超高亮度发光材料及大规模集成电路的必备原料。MO源具有非常活泼的化学性质，对空气和水汽极为敏感，在空气中会瞬间自燃，遇水则发生猛烈爆炸。因此，MO源的灌装需要在密闭且无O₂、无H₂O的环境下进行，并且在使用完之后，仍然需要在密闭且无O₂、无H₂O的环境下进行残余物料的回收，以使得存储MO源的钢瓶能够再利用。

现有技术中，较为常用的MO源残余物料回收的方式是在无氧无水惰性气氛的手套箱内将剩有残余MO源的钢瓶倒入固定的回收钢瓶中，回收钢瓶收集满之后再进行处理。然而，这种回收方式存在诸多缺陷，例如，在倾倒时由于MO源极易挥发并具有较强的腐蚀性，因此非常容易损坏手套箱设备。尤其是，随着市场经济的快速发展、电子技术应用领域的日益扩大，MO源的市场需求量大幅度增加，用于灌装MO源的钢瓶的规格也随之不断放大，由最初的500g，1000g放大到8kg，16kg甚至更大，因此，钢瓶的体积也相应地较大，这非常不利于倾倒操作。并且，在通过倾倒的方式处理MO源钢瓶残余物料时，钢瓶内的残余物料非常不容易处理干净，这为后续开口处理钢瓶时埋下了非常大的隐患。如果钢瓶内的残余物料没有处理干净，那么当打开钢瓶的开口时，基于MO源的物理特性和化学特性，易出现冒烟冒火等情况，并伴有大量刺鼻有害烟雾，对环境造成较大的污染，同时危害周围人的健康。

由此可以得出，传统的用于回收MO源钢瓶中的残余物料的方式不仅对操作环境要求较高且不便于操作，而且还存在较大的安全隐患。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种残余物料回收装置，该残余物料回收装置能够在普通空气环境中作业，不仅操作方便，而且具有较高的安全系数。

为了实现上述目的，本实用新型提供一种残余物料回收装置，其中，所述残余物料回收装置包括残余物料容器、缓冲罐、第一管路和抽真空装置，所述第一管路将所述容器与所述缓冲罐连接，所述抽真空装置通过第二管路连接于所述缓冲罐，所述残余物料容器中的残余物料能够通过所述第一管路进入到所述缓冲罐。

优选地，所述第一管路和/或所述第二管路上连接有检漏装置。

优选地，所述缓冲罐容纳在冷却装置中。

优选地，所述冷却装置为冷阱。

优选地，所述残余物料回收装置还包括连接于所述第一管路和/或所述第二管路的置换气体源。

优选地，所述第一管路上设置有第一阀门。

所述第二管路上设置有第二阀门。

优选地，所述第一管路上连接有压力表。

优选地，所述容器通过金属软管连接于所述第一管路。

优选地，所述残余物料为MO源。

通过上述技术方案，本实用新型提供的残余物料回收装置为待回收的残余物料提供密闭的环境，能够为待回收的残余物料提供特定的气体氛围，具有较高的安全性，因此，残余物料的回收操作不再局限于附加设备，能够在普通空气环境下进行残余物料的回收工作。并且本实用新型提供的残余物料回收装置通过抽真空装置，能够将残余物料容器中的残余物料经第一管路抽入缓冲罐中，以达到回收的目的，操作简单方便快捷。

本实用新型的其它特征和优点将在随后的具体实施方式部分予以详细说明。

附图说明

附图是用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本实用新型，但并不构成对本实用新型的限制。在附图中：

图1是根据本实用新型提供的具体实施方式的残余物料回收装置的简略示意图。

附图标记说明

1残余物料容器(或钢瓶)；2缓冲罐；3第一管路；31第一阀门；4抽真空装置；5第二管路；51第二阀门；6检漏装置；61第三阀门；7冷却装置；8置换气体源；81第四阀门；9压力表；91第五阀门。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本实用新型，并不用于限制本实用新型。