[实用新型]具有缓冲功能的晶圆传送盒

权利要求书

1.一种具有缓冲功能的晶圆传送盒，其特征在于：所述具有缓冲功能的晶圆传送盒包括：

一盒体，所述盒体具有一开口及一容纳空间；

一承载座，所述承载座设置于该容纳空间内，该承载座承载一晶圆盒；

多个第一缓冲元件，所述第一缓冲元件设置于该承载座，且所述第一缓冲元件接触该盒体；及

一盖体，所述盖体覆盖该开口，且接触该晶圆盒的一顶部。

2.根据权利要求1所述的具有缓冲功能的晶圆传送盒，其特征在于：所述第一缓冲元件具有多个横向缓冲元件及纵向缓冲元件，所述横向缓冲元件设置于该承载座的侧边，且所述横向缓冲元件接触该盒体的侧面；所述纵向缓冲元件设置于该承载座的角落，且所述纵向缓冲元件接触该盒体的底部。

3.根据权利要求2所述的具有缓冲功能的晶圆传送盒，其特征在于：所述横向缓冲元件为一外螺纹定位珠，该承载座包括多个第一固定件，该横向缓冲元件设置于该承载座的该第一固定件，该第一固定件具有内螺纹，以与该外螺纹定位珠配合。

4.根据权利要求2所述的具有缓冲功能的晶圆传送盒，其特征在于：所述纵向缓冲元件为一外螺纹定位柱，该承载座包括多个第二固定件，该纵向缓冲元件设置于该承载座的该第二固定件，该第二固定件具有内螺纹，以与该外螺纹定位珠配合。

5.根据权利要求1所述的具有缓冲功能的晶圆传送盒，其特征在于：所述承载座具有多个导块，所述导块引导该晶圆盒设置于该承载座上。

6.根据权利要求5所述的具有缓冲功能的晶圆传送盒，其特征在于：所述导块具有一引导斜面及一夹制面，该引导斜面朝向该晶圆传送盒的内部，所述引导斜面引导该晶圆盒设置于该承载座上；该夹制面夹制固定该晶圆盒于该承载座上。

7.根据权利要求1所述的具有缓冲功能的晶圆传送盒，其特征在于：所述承载座具有多个孔洞，贯穿该承载座。

8.根据权利要求1所述的具有缓冲功能的晶圆传送盒，其特征在于：所述盒体还包括多个气体输入孔及多个气体输出孔。

9.根据权利要求8所述的具有缓冲功能的晶圆传送盒，其特征在于：所述气体输入孔包括多个第一气体输入孔及多个第二气体输入孔；所述气体输出孔包括多个第一气体输出孔及多个第二气体输出孔。

10.根据权利要求9所述的具有缓冲功能的晶圆传送盒，其特征在于：所述具有缓冲功能的晶圆传送盒还包括多个气体传递装置，连通该盒体的所述第一气体输入孔。

11.根据权利要求9所述的具有缓冲功能的晶圆传送盒，其特征在于：所述具有缓冲功能的晶圆传送盒还包括多个气体传输装置，连通该晶圆盒的气体输入口及该盒体的所述第二气体输入孔。

12.根据权利要求11所述的具有缓冲功能的晶圆传送盒，其特征在于：所述气体传输装置包括一第一传输管、多个第二间隔件及一第一垫圈，该第一传输管连通该晶圆盒的气体输入口及该盒体的所述第二气体输入孔；所述第二间隔件及该第一垫圈设置于该盒体的所述第二气体输入孔外，形成一通气空间，部分该第一传输管设置于该通气空间，且该第一传输管与该第二气体输入孔间具有一空隙。

13.根据权利要求1所述的具有缓冲功能的晶圆传送盒，其特征在于：所述盖体包括一盖板、一固定框、一缓冲板、一止挡板及多个第二缓冲元件；该固定框设置于该盖板的底面；该缓冲板活动式地设置于该固定框内，且该缓冲板呈凹槽状，使该晶圆盒的该顶部容纳至该缓冲板内；该止挡板固定至该固定框，且该止挡板呈方形环状，该止挡板的宽度延伸至足以限制该缓冲板向下移动；所述第二缓冲元件具有多个横向缓冲元件及纵向缓冲元件，所述横向缓冲元件设置于该固定框的侧边，且所述横向缓冲元件接触该缓冲板的侧面，所述纵向缓冲元件设置于该缓冲板的侧边，且所述纵向缓冲元件接触该盖板。

14.根据权利要求13所述的具有缓冲功能的晶圆传送盒，其特征在于：所述第二缓冲元件的所述横向缓冲元件及所述纵向缓冲元件为外螺纹定位珠。

15.根据权利要求1所述的具有缓冲功能的晶圆传送盒，其特征在于：所述具有缓冲功能的晶圆传送盒还包括一感测装置，设置于该盒体或该盖体，该感测装置检测该晶圆传送盒内的温度、湿度或压力。