[实用新型]具有缓冲功能的晶圆传送盒

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种具有缓冲功能的晶圆传送盒。

背景技术

现有晶圆盒用以放置多个片晶圆，且可于厂区内的半导体制造过程间传输。现有晶圆盒可为前开式标准盒(FrontOpeningUnifiedPod,FOUP)。当于不同厂区间传送晶圆时，通常将现有晶圆盒再以塑料袋真空包装后传送。现有仅以塑料袋真空包装的方式不能提供现有晶圆盒在传送时的防震效果，可能造成现有晶圆盒内晶圆的损坏或使现有晶圆盒内微粒(Particle)掉落至晶圆表面而造成晶圆良率下降。并且，上述现有方式不能提供现有晶圆盒在传送时的良好环境，例如不能控制现有晶圆盒传送时的周围环境温度、湿度或特殊气体含量，使得现有晶圆盒的晶圆易受周围环境的变化而受损。

实用新型内容

为了解决上述问题，本实用新型的目的在于提供一种具有缓冲功能的晶圆传送盒。

为达上述目的，本实用新型的主要技术方案为：在一实施例中，具有缓冲功能的晶圆传送盒包括一盒体、一承载座、多个第一缓冲元件及一盖体。该盒体具有一开口及一容纳空间。该承载座设置于该容纳空间内，该承载座用以承载一晶圆盒。所述第一缓冲元件设置于该承载座，且所述第一缓冲元件接触该盒体。该盖体覆盖该开口，且接触该晶圆盒的一顶部。

优选地，所述第一缓冲元件具有多个横向缓冲元件及纵向缓冲元件，所述横向缓冲元件设置于该承载座的侧边，且所述横向缓冲元件接触该盒体的侧面；所述纵向缓冲元件设置于该承载座的角落，且所述纵向缓冲元件接触该盒体的底部。

优选地，所述横向缓冲元件为一外螺纹定位珠，该承载座包括多个第一固定件，该横向缓冲元件设置于该承载座的该第一固定件，该第一固定件具有内螺纹，以与该外螺纹定位珠配合。

优选地，所述纵向缓冲元件为一外螺纹定位柱，该承载座包括多个第二固定件，该纵向缓冲元件设置于该承载座的该第二固定件，该第二固定件具有内螺纹，以与该外螺纹定位珠配合。

优选地，所述承载座具有多个导块，用以引导该晶圆盒设置于该承载座上。

优选地，所述导块具有一引导斜面及一夹制面，该引导斜面朝向该晶圆传送盒的内部，用以引导该晶圆盒设置于该承载座上；该夹制面用以夹制固定该晶圆盒于该承载座上。

优选地，所述承载座具有多个孔洞，贯穿该承载座。

优选地，所述盒体还包括多个气体输入孔及多个气体输出孔。

优选地，所述气体输入孔包括多个第一气体输入孔及多个第二气体输入孔；所述气体输出孔包括多个第一气体输出孔及多个第二气体输出孔。

优选地，所述具有缓冲功能的晶圆传送盒还包括多个气体传递装置，连通该盒体的所述第一气体输入孔。

优选地，所述具有缓冲功能的晶圆传送盒还包括多个气体传输装置，连通该晶圆盒的气体输入口及该盒体的所述第二气体输入孔。

优选地，所述气体传输装置包括一第一传输管、多个第二间隔件及一第一垫圈，该第一传输管连通该晶圆盒的气体输入口及该盒体的所述第二气体输入孔；所述第二间隔件及该第一垫圈设置于该盒体的所述第二气体输入孔外，形成一通气空间，部分该第一传输管设置于该通气空间，且该第一传输管与该第二气体输入孔间具有一空隙。

优选地，所述盖体包括一盖板、一固定框、一缓冲板、一止挡板及多个第二缓冲元件；该固定框设置于该盖板的底面；该缓冲板活动式地设置于该固定框内，且该缓冲板呈凹槽状，使该晶圆盒的该顶部容纳至该缓冲板内；该止挡板固定至该固定框，且该止挡板呈方形环状，该止挡板的宽度延伸至足以限制该缓冲板向下移动；所述第二缓冲元件具有多个横向缓冲元件及纵向缓冲元件，所述横向缓冲元件设置于该固定框的侧边，且所述横向缓冲元件接触该缓冲板的侧面，所述纵向缓冲元件设置于该缓冲板的侧边，且所述纵向缓冲元件接触该盖板。

优选地，所述第二缓冲元件的所述横向缓冲元件及所述纵向缓冲元件为外螺纹定位珠。

优选地，所述具有缓冲功能的晶圆传送盒还包括一感测装置，设置于该盒体或该盖体，该感测装置用以检测该晶圆传送盒内的温度、湿度或压力。

本实用新型的有益效果在于：利用本实用新型的晶圆传送盒，可提供于传送晶圆盒的避震缓冲，亦提供良好的周围环境以避免晶圆盒内晶圆的损坏，降低晶圆受掉落微粒(FallonParticle)的影响而造成良率下降。

附图说明

图1显示本实用新型的晶圆传送盒容置晶圆盒的一实施例的示意图；

图2显示本实用新型的晶圆传送盒的承载座及气体传递装置的一实施例的示意图；

图3显示本实用新型的晶圆传送盒的盒体的一实施例的示意图；