[实用新型]一种用于区熔硅单晶炉拆装炉系统的清炉装置

权利要求书

1.一种用于区熔硅单晶炉拆装炉系统的清炉装置，其特征在于：包括外接压缩空气管道(3)、内接压缩空气管道(2)和清炉气盘(1)；

所述清炉气盘(1)位于炉体内部，所述清炉气盘(1)为一圆盘，所述圆盘一端面上设置有进气口，另一端面上设置有若干个均匀分布的气孔(11)，所述进气口与所述气孔(11)相连通，所述清炉气盘(1)设置气孔(11)的一端与炉体上设置的轴体一端固定连接；

所述内接压缩空气管道(2)一端与所述进气口相连，另一端固定在炉体上，所述外接压缩空气管道(3)设置于所述炉体外侧，所述外接压缩空气管道(3)一端在所述炉体上与所述内接压缩空气管道(2)相连，另一端与气源相连。

2.根据权利要求1所述的用于区熔硅单晶炉拆装炉系统的清炉装置，其特征在于：所述清炉气盘(1)的个数为两个，分别与设置在炉体上部和下部的轴体(5)相连。

3.根据权利要求1或2所述的用于区熔硅单晶炉拆装炉系统的清炉装置，其特征在于：所述内接压缩空气管道(2)为可伸缩的波纹管。

4.根据权利要求3所述的用于区熔硅单晶炉拆装炉系统的清炉装置，其特征在于：所述轴体(5)可带动所述清炉气盘(1)在炉体内上下移动。

5.根据权利要求1所述的用于区熔硅单晶炉拆装炉系统的清炉装置，其特征在于：所述清炉气盘(1)上气孔(11)的个数为24个。

6.根据权利要求1所述的用于区熔硅单晶炉拆装炉系统的清炉装置，其特征在于：所述外接压缩空气管道(3)与所述内接压缩空气管道(2)通过法兰(4)相连，所述炉体上设有法兰口，所述法兰(4)位于所述法兰口内。