[实用新型]一种应用于半导体扩散片生产的微粒废水处理系统有效
| 申请号： | 201520820037.9 | 申请日： | 2015-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN205151995U | 公开（公告）日： | 2016-04-13 |
| 发明（设计）人： | 徐海涛 | 申请（专利权）人： | 青岛金汇源电子有限公司 |
| 主分类号： | C02F9/14 | 分类号： | C02F9/14;C02F11/12 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 266400 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 应用于 半导体 扩散 生产 微粒 废水处理 系统 | ||
【权利要求书】：
1.一种应用于半导体扩散片生产的微粒废水处理系统，其特征在于：包括 依次连接的集水池、PH调节池和助凝沉淀池，其中，助凝沉淀池中的上层清液 依次抽至催化氧化池、水解酸化池、接触氧化池和回用收集池，助凝沉淀池底 部污泥依次抽至污泥浓缩池和污泥压滤机。
2.根据权利要求1所述的一种应用于半导体扩散片生产的微粒废水处理系 统，其特征在于：接触氧化池和回用收集池之间还设置有加药沉淀池。
3.根据权利要求1所述的一种应用于半导体扩散片生产的微粒废水处理系 统，其特征在于：PH调节池、催化氧化池、水解酸化池和接触氧化池设有搅拌 装置。
4.根据权利要求1所述的一种应用于半导体扩散片生产的微粒废水处理系 统，其特征在于：助凝沉淀池及回用收集池设有用于监测废水水质的监控系统。
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