[实用新型]一种硅片清洗机有效
| 申请号： | 201520857072.8 | 申请日： | 2015-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN205289176U | 公开（公告）日： | 2016-06-08 |
| 发明（设计）人： | 刘锋;刘爱军;蒋月华;陈新军;邓加云 | 申请（专利权）人： | 无锡隆基硅材料有限公司 |
| 主分类号： | B08B11/00 | 分类号： | B08B11/00 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 楼高潮 |
| 地址： | 214000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 清洗 | ||
【权利要求书】：
1.一种硅片清洗机，包括上料台、下料台、位于上料台和下料台之间的多个清洗槽，其特征在于：位于所述上料台和下料台之间上方设置有花篮传输装置；
所述花篮传输装置传送方向为下料台至上料台方向。
2.根据权利要求1所述的硅片清洗机，其特征在于：所述花篮传输装置为链条驱动的传送皮带。
3.根据权利要求1所述的硅片清洗机，其特征在于：所述下料台上设置有传送皮带。
4.根据权利要求1所述的硅片清洗机，其特征在于：所述花篮传输装置离地高度为140-150cm。
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