[实用新型]一种硅片清洗机

说明书

技术领域

本实用新型属于硅片切割技术领域，特别是涉及一种硅片清洗机。

背景技术

硅片是一种硅材料通过加工切成一片一片而形成的。从硅材料到可使用的硅片要经过切割、清洗等多道工序。清洗作为硅片的一个生产工序之一，其清洗的好坏对硅片的使用性能有着很大的影响。清洗的主要目的是为了清洗掉切割过程中的产生的砂粒、残留的切削磨料、金属离子及指纹等，使硅片表面达到无腐蚀氧化、无残留等技术指标。现有硅片清洗常采用一种封闭的硅片清洗机，清洗硅片时要将硅片放在花篮中再进清洗机清洗，清洗后检测工段人员将硅片从花篮里面倒出，再将花篮以及花架用人工返还给清洗工段。

发明内容

本实用新型目的在于针对现有技术的缺陷提供一种能够自动回送花篮和花架的硅片清洗机。

本实用新型为实现上述目的，采用如下技术方案：

一种硅片清洗机，包括上料台、下料台、位于上料台和下料台之间的多个清洗槽，其特征在于：位于所述上料台和下料台之间上方设置有花篮传输装置。

其进一步特征在于：所述花篮传输装置传送方向为下料台至上料台方向。

优选的：所述花篮传输装置为链条驱动的传送皮带。

所述下料台上设置有传送皮带。

所述花篮传输装置离地高度为140-150cm。

本实用新型在现有的硅片清洗机的基础上进行改造，在硅片清洗机的上方设置花篮传输装置，将花篮从下料台自动传输至上料台方向，实现自动回篮，提升生产效率，节约人力成本。同时，花篮传输装置的设置也不会影响到硅片清洗机的原有清洗功能。

附图说明

图1为本实用新型示意图。

具体实施方式

现有的硅片清洗机，包括上料台1、下料台2、位于上料台1和下料台2之间的多个清洗槽3，所述下料台2上设置有传送皮带。

如图1所示，对现有的硅片清洗机进行改造，在位于所述上料台1和下料台2之间上方，离地高度为140-150cm设置花篮传输装置4。所述花篮传输装置4传送方向为下料台至上料台方向，将花篮5从下料台2传送至上料台1。所述花篮传输装置4为链条驱动的传送皮带。

本实用新型通过设置在硅片清洗机上部的花篮传输装置将花篮从下料台自动传输至上料台方向，实现自动回篮，提升生产效率，节约人力成本。同时，花篮传输装置的设置也不会影响到硅片清洗机的原有清洗功能。