[实用新型]一种可视化系统及工艺腔室

权利要求书

1.一种可视化系统，包括：

第一光源，具有环形；

第二光源，适合于导引光通过所述第一光源的中心；以及

透镜，定位在所述第一光源和摄像机之间，所述摄像机导引通过所述第一 光源的所述中心且适合于捕获通过所述透镜的图像。

2.如权利要求1所述的可视化系统，其中所述透镜是远心透镜。

3.如权利要求1所述的可视化系统，其中所述第二光源是点光源。

4.如权利要求1所述的可视化系统，其中所述摄像机耦接到线性致动器。

5.如权利要求1所述的可视化系统，进一步包括光学器件外壳，所述光学 器件外壳在其中包括镜子或透镜，所述镜子或透镜适合于从所述第二光源导引 光。

6.一种工艺腔室，包括：

基板支撑件，定位在所述工艺腔室的主体之内；

一个或多个运动对准元件，用于支撑在所述运动对准元件上的掩模；以及

可视化系统，被定位以检测所述掩模与支撑在所述基板支撑件上的基板的 对准，所述可视化系统包括：

第一光源，具有环状；

第二光源，适合于导引光通过所述第一光源的中心；以及

透镜，定位在所述第一光源和摄像机之间，所述摄像机导引通过所 述第一光源的所述中心且适合于捕获通过所述透镜的图像。

7.如权利要求6所述的工艺腔室，其中所述透镜是远心透镜。

8.如权利要求6所述的工艺腔室，其中所述第二光源是点光源。

9.如权利要求6所述的工艺腔室，其中所述摄像机耦接到线性致动器。

10.如权利要求6所述的工艺腔室，进一步包括遮蔽框，所述遮蔽框具 有用于由所述可视化系统检测的在所述遮蔽框上的数个对准位置。

11.如权利要求6所述的工艺腔室，其中所述基板支撑件包括数个开口， 所述数个开口用于导引所述第一光源和所述第二光源通过所述数个开口。

12.如权利要求6所述的工艺腔室，其中所述第一光源和所述第二光源 是LED。