[实用新型]一种卷式和枚状共线的显影蚀刻去膜设备

权利要求书

1.一种卷式和枚状共线的显影蚀刻去膜设备，包括放料机、收料机、显影蚀刻去膜设备、卷式生产线，其特征在于：放料机（1）的输出端采用输送带连接进料支架（2）的一端，进料支架（2）的另一端连接显影蚀刻去膜设备（3）的入口端，显影蚀刻去膜设备（3）的出口端连接出料支架（4）的一端，出料支架（4）的另一端采用输送带连接收料机（5）的输入端；位于显影蚀刻去膜设备（3）的上方连接设有卷式生产线（6）。

2.根据权利要求1所述的一种卷式和枚状共线的显影蚀刻去膜设备，其特征在于：所述的显影蚀刻去膜设备（3）从前至后依次由显影机（3-1）、腐蚀机（3-2）、去膜机（3-3）、微蚀机（3-4）、防氧化机（3-5）及烘干机（3-6）组成。

3.根据权利要求1所述的一种卷式和枚状共线的显影蚀刻去膜设备，其特征在于：所述的卷式生产线（6）采用支架（7）与显影蚀刻去膜设备（3）连接，并且卷式生产线（6）上设有物料传送带。

4.根据权利要求1所述的一种卷式和枚状共线的显影蚀刻去膜设备，其特征在于：所述的放料机（1）为卷式放料机。

5.根据权利要求1所述的一种卷式和枚状共线的显影蚀刻去膜设备，其特征在于：所述的收料机（5）为卷式收料机。

6.根据权利要求1所述的一种卷式和枚状共线的显影蚀刻去膜设备，其特征在于：所述的进料支架（2）及出料支架（4）采用升降装置与显影蚀刻去膜设备（3）连接。