[实用新型]一种光刻胶涂布机

权利要求书

1.一种光刻胶涂布机，包括加热平台和起模顶杆，所述加热平台上设置有至少一个贯穿所述加热平台的通孔，所述起模顶杆可以在所述通孔内沿所述通孔延伸的方向进行升降运动，其特征在于，

所述起模顶杆的基材接触端与所述通孔靠近所述加热平台工作侧的孔壁抵触。

2.根据权利要求1所述的光刻胶涂布机，其特征在于，

所述通孔的形状为柱体，所述起模顶杆的基材接触端的形状以及尺寸与所述通孔形状以及尺寸相匹配。

3.根据权利要求2所述的光刻胶涂布机，其特征在于，所述通孔的横截面形状为圆形或多边形。

4.根据权利要求1所述的光刻胶涂布机，其特征在于，

所述通孔的形状为台体，并且所述通孔靠近所述加热平台工作侧的孔径大于远离所述加热平台工作侧的孔径；

所述起模顶杆的基材接触端的形状以及尺寸与所述通孔靠近所述加热平台工作侧的形状以及尺寸相匹配。

5.根据权利要求1所述的光刻胶涂布机，其特征在于，

所述通孔包括首尾相接的第一通孔和第二通孔，所述第一通孔邻近所述加热平台的工作侧，所述第一通孔和所述第二通孔的形状均为柱体，且所述第一通孔的孔径大于所述第二通孔的孔径；

所述起模顶杆的基材接触端的形状和尺寸与所述第一通孔的形状和尺寸相匹配，所述起模顶杆的基材非接触端的尺寸小于或者等于所述第二通孔的尺寸。

6.根据权利要求5所述的光刻胶涂布机，其特征在于，

所述第一通孔与所述第二通孔横截面形状为圆形或多边形。

7.根据权利要求1所述的光刻胶涂布机，其特征在于，

所述通孔包括首尾相接的第三通孔与第四通孔，所述第三通孔邻近所述加热平台工作侧，所述第三通孔的形状为台体，所述第四通孔的形状为柱体，并且所述第三通孔邻近所述加热平台工作侧的孔径大于远离所述加热平台工作侧的孔径；

所述起模顶杆的基材接触端的形状和尺寸与所述第三通孔的形状和尺寸相匹配，且所述起模顶杆的基材非接触端的尺寸小于或者等于所述第四通孔的尺寸。

8.根据权利要求4或7所述的光刻胶涂布机，其特征在于，所述台体为圆台，所述圆台母线与所述工作平台的夹角范围为20°-80°。

9.根据权利要求4或7所述的光刻胶涂布机，其特征在于，所述台体为棱台，其横截面为多边形，并且所述棱台侧棱与所述工作平台的夹角范围为20°-80°。