[实用新型]一种用于基板显影的清洗装置

权利要求书

1.一种用于基板显影的清洗装置，它包括本体(1)和用于固定基板且可带动基板旋转的旋转夹具，本体(1)内设有可容置旋转夹具的容腔，其特征在于：所述旋转夹具包括用于容置基板且对基板周向限位的下夹具(2)和用于对基板上限位的上夹具(3)，下夹具(2)与上夹具(3)可拆式连接；下夹具(2)上表面边缘沿周向设有若干个用于防止基板脱离下夹具(2)的限位凸块(4)，限位凸块(4)之间有间隙；所述上夹具(3)中部设有可供清洗液穿过并对基板进行清洗的通孔(5)，上夹具(3)下表面设有用于防止基板从下夹具(2)掉出的限位机构。

2.根据权利要求1所述的用于基板显影的清洗装置，其特征在于：所述限位机构包括上夹具(3)下表面位于通孔(5)边缘位置处沿周向设置的凸起(6)，凸起(6)在上夹具(3)与下夹具(2)连接后与基板上表面相抵。

3.根据权利要求1所述的用于基板显影的清洗装置，其特征在于：所述下夹具(2)外壁沿周向向外设有至少二个第一延长块(7.1)，第一延长块(7.1)上表面设有凸台(8)，凸台(8)上表面铰接有限位块(9)；上夹具(2)外壁沿周向对应第一延长块(7.1)的位置处设有第二延长块(7.2)，第二延长块(7.2)上设有可供限位块(9)穿过的限位通孔(10)。