[实用新型]一种用于半导体刻蚀机的带通滤波器

权利要求书

1.一种用于半导体刻蚀机的带通滤波器，包括信号输入端口,其特征在于，信号输入端口依次串联有3阶高通LC滤波电路，3阶低通LC滤波电路，2阶低通LC滤波电路和信号输出端;信号输入端口的一端和信号输出端的一端均接地。

2.如权利要求1所述的用于半导体刻蚀机的带通滤波器，其特征在于，信号输入端口依次串联第一电容、第三电感、第四电感和信号输出端；第一电容的两端分别连接第一电感的一端和第二电感的一端；第一电感的另一端和第二电感的另一端相连后接地；第三电感的两端分别连接第二电容的一端和第三电容的一端，第二电容的另一端和第三电容的另一端相连后接地；第四电感和信号输出端连接第四电容的一端，第四电容的另一端接地；3阶高通LC滤波电路包括第一电容、第一电感和第二电感；3阶低通LC滤波电路包括第三电感、第二电容和第三电容；2阶低通LC滤波电路包括第四电感和第四电容。

3.如权利要求2所述的用于半导体刻蚀机的带通滤波器，其特征在于，所述第一电感、第二电感、第三电感和第四电感之间互相垂直或交错设置。

4.如权利要求3所述的用于半导体刻蚀机的带通滤波器，其特征在于，滤波器外设有壳体；所述第一电感轴向平行于壳体的底板；第二电感轴向垂直于壳体的底板；第三电感轴向垂直于第一电感的轴向和第二电感的轴向；第四电感轴向垂直于第三电感的轴向且平行于第一电感的轴向；第四电感与第一电感交错设置。