[实用新型]一种用于半导体刻蚀机的带通滤波器

说明书

技术领域

本实用新型属于机电领域，尤其涉及一种用于半导体刻蚀机的带通滤波器。

背景技术

半导体行业中有很多刻蚀机使用13.56MHz射频电源来供电，由于部分半导体刻蚀机在使用过程中同时采用13.56MHz和2MHz电源进行供电，导致2MHz频率的谐波通过腔体内的等离子体串扰进13.56MHz电源。

为了滤除13.56MHz射频的高次谐波，同时抑制2MHz射频的干扰，需设计一种带通滤波器。

实用新型内容

为解决上述问题本实用新型提供了一种用于半导体刻蚀机的带通滤波器。本实用新型体积小、功率大、选频性能优异、带外抑制强、插入损耗和回波损耗小、可用于专用场合。

为达到上述技术效果，本实用新型的技术方案是：

一种用于半导体刻蚀机的带通滤波器，包括信号输入端口,信号输入端口依次串联有3阶高通LC滤波电路，3阶低通LC滤波电路，2阶低通LC滤波电路和信号输出端;信号输入端口的一端和信号输出端的一端均接地。

进一步的改进，信号输入端口依次串联第一电容、第三电感、第四电感和信号输出端；第一电容的两端分别连接第一电感的一端和第二电感的一端；第一电感的另一端和第二电感的另一端相连后接地；第三电感的两端分别连接第二电容的一端和第三电容的一端，第二电容的另一端和第三电容的另一端相连后接地；第四电感和信号输出端连接第四电容的一端，第四电容的另一端接地；3阶高通LC滤波电路包括第一电容、第一电感和第二电感；3阶低通LC滤波电路包括第三电感、第二电容和第三电容；2阶低通LC滤波电路包括第四电感和第四电容。

进一步的改进，所述第一电感、第二电感、第三电感和第四电感之间互相垂直或交错设置。

进一步的改进，滤波器外设有壳体；所述第一电感轴向平行于壳体的底板；第二电感轴向垂直于壳体的底板；第三电感轴向垂直于第一电感的轴向和第二电感的轴向；第四电感轴向垂直于第三电感的轴向且平行于第一电感的轴向；第四电感与第一电感交错设置。

本实用新型体积小、功率大、选频性能优异、带外抑制强、插入损耗和回波损耗小、可用于专用场合。

附图说明

图1是本实用新型的电路结构示意图。

具体实施方式

实施例1

如图1所示的一种用于半导体刻蚀机的带通滤波器。本设计采用8阶LC电路构成用于半导体刻蚀机的专用带通滤波器，包括信号输入端口和信号输出端口，接地端GND，3阶高通LC滤波电路A，3阶低通LC滤波电路B，2阶低通LC滤波电路C。如图1所示，3阶高通LC滤波电路A的输入端接信号输入端，输出端接3阶低通LC滤波电路B的输入端；3阶低通LC滤波电路B的输出端接2阶低通LC滤波电路C的输入端；2阶低通LC滤波电路C的输出端接信号输出端OUT。信号从信号输入端进入，经过上述共8阶滤波电路后从信号输出端输出。

如图1所示，具体连接方式如下：信号输入端口依次串联第一电容C1、第三电感L3、第四电感L4和信号输出端；第一电容C1的两端分别连接第一电感L1的一端和第二电感L2的一端；第一电感L1的另一端和第二电感L2的另一端相连后接地；第三电感L3的两端分别连接第二电容C2的一端和第三电容C3的一端，第二电容C2的另一端和第三电容C3的另一端相连后接地；第四电感L4和信号输出端连接第四电容C4的一端，第四电容C4的另一端接地。

本实用新型用于半导体刻蚀机的专用带通滤波器采用空气冷却的方式进行冷却。为了防止电感线圈之间产生互感，四个电感采用互相垂直或交错的方式进行安装。第一电感L1轴向平行于滤波器壳体底板，第二电感L2轴向垂直于滤波器壳体底板同时，第三电感L3轴向垂直于第二电感L2的轴向同时垂直于第一电感L1的轴向，第四电感L4轴向垂直于第三电感L3的轴向同时平行于第一电感L1的轴向但位置与第一电感L1交错（即第四电感L4与第一电感L1处于第三电感L3不同侧），这样在结构上实现四个电感互不干扰。

本实用新型的贡献在与提供了一种体积小、功率大、选频性能优异、带外抑制强、插入损耗和回波损耗小、用于专用场合的带通滤波器。功率上限5KW，高次谐波抑制度50dB以上，输入输出驻波比小于1.05，输入信号端和输出信号端的阻抗为50Ω。

以上实例的说明只是用于帮助理解本实用新型的核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本实用新型的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。