[实用新型]多晶硅生产用石英坩埚喷涂台有效
| 申请号： | 201520951066.9 | 申请日： | 2015-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN205128267U | 公开（公告）日： | 2016-04-06 |
| 发明（设计）人： | 王勇 | 申请（专利权）人： | 浙江恒都光电科技有限公司 |
| 主分类号： | B05B13/02 | 分类号： | B05B13/02;B05B15/00 |
| 代理公司： | 嘉兴海创专利代理事务所(普通合伙) 33251 | 代理人： | 郑文涛 |
| 地址： | 314416 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 多晶 生产 石英 坩埚 喷涂 | ||
1.一种多晶硅生产用石英坩埚喷涂台，包括设于可旋转底座上的 喷涂平台(1)，以及拌料装置，其特征在于，还包括吸尘装置(2)， 所述吸尘装置(2)包括吸尘通道(4)和设于所述吸尘通道(4)上 的风机(5)，所述吸尘通道(4)的内端口为喇叭口(3)，位于所述 喷涂平台(1)的正上方，且所述喇叭口(3)的口径大于所述喷涂平 台(1)的外径。
2.根据权利要求1所述的多晶硅生产用石英坩埚喷涂台，其特 征在于，所述拌料装置包括固定杆(12)、可移动设置在所述固定杆 (12)上的活动块(13)、用于将所述活动块(13)锁紧的第一锁紧 装置(14)、可移动设置在所述活动块(13)上的安装杆(15)、用于 将所述安装杆(15)与所述活动块(13)锁紧的第二锁紧装置(16) 和固定在所述安装杆(15)上的搅拌机构(17)。
3.根据权利要求1所述的多晶硅生产用石英坩埚喷涂台，其特 征在于，所述吸尘通道(4)的出风口处设有过滤网(18)，所述过滤 网(18)的下方设有粉尘收集装置(6)。
4.根据权利要求3所述的多晶硅生产用石英坩埚喷涂台，其特 征在于，所述吸尘通道(4)的出风口处设有插槽(20)，所述粉尘收 集装置(6)边缘处设有适于与所述插槽(20)插接配合的插片。
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