[实用新型]多晶硅生产用石英坩埚喷涂台有效
申请号: | 201520951066.9 | 申请日: | 2015-11-25 |
公开(公告)号: | CN205128267U | 公开(公告)日: | 2016-04-06 |
发明(设计)人: | 王勇 | 申请(专利权)人: | 浙江恒都光电科技有限公司 |
主分类号: | B05B13/02 | 分类号: | B05B13/02;B05B15/00 |
代理公司: | 嘉兴海创专利代理事务所(普通合伙) 33251 | 代理人: | 郑文涛 |
地址: | 314416 浙江省*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 多晶 生产 石英 坩埚 喷涂 | ||
技术领域
本实用新型属于石英坩埚制造技术领域,具体涉及一种多晶硅生产用石英坩埚喷涂台。
背景技术
多晶硅晶体是在多晶铸锭炉中进行烧制后形成的,具体是将多晶硅原料装在内表面涂有氮化硅粉脱模剂的石英坩埚内,然后将石英坩埚置于多晶硅锭炉内,通过加热、熔化、长晶、退火和冷却等一系列过程得到符合要求的多晶硅锭。石英坩埚在喷涂氮化硅涂料时需要在喷涂台上操作,并且喷涂时周围会产生大量粉尘,当前喷涂工人在工作时多通过穿戴工作服和口罩来避免皮肤与粉尘接触,防护效果较差。
实用新型内容
对此,本实用新型所要解决的技术问题是现有技术中石英坩埚喷涂车间内工作环境差的问题,从而提供一种能有效改善工作环境的石英坩埚喷涂台。
实现本实用新型目的的技术方案是:
一种多晶硅生产用石英坩埚喷涂台,包括设于可旋转底座上的喷涂平台,以及拌料装置,它还包括吸尘装置,所述吸尘装置包括吸尘通道和设于所述吸尘通道上的风机,所述吸尘通道的内端口为喇叭口,位于所述喷涂平台的正上方,且所述喇叭口的口径大于所述喷涂平台的外径。
上述技术方案中,所述拌料装置包括固定杆、可移动设置在所述固定杆上的活动块、用于将所述活动块锁紧的第一锁紧装置、可移动设置在所述活动块上的安装杆、用于将所述安装杆与所述活动块锁紧的第二锁紧装置和固定在所述安装杆上的搅拌机构。
上述技术方案中,所述吸尘通道的出风口处设有过滤网,所述过滤网的下方设有粉尘收集装置。
上述技术方案中,所述吸尘通道的出风口处设有插槽,所述粉尘收集装置边缘处设有适于与所述插槽插接配合的插片。
本实用新型具有积极的效果:
(1)本实用新型中通过设置吸尘装置,并将吸尘通道的内端口设计成喇叭口状,位于所述喷涂平台的正上方,且所述喇叭口的口径大于所述喷涂平台的外径,这样一来,能够及时有效的将喷涂作业时产生的粉尘及时排出喷涂车间,从而改善了喷涂车间的工作环境,有益于工作人员的身体健康。
(2)本实用新型中,搅拌机构能够向各个方向移动,从而便于操作人员现场操作。
(3)本实用新型中,通过设置过滤网及粉尘收集装置,能够防止粉尘流出造成粉尘污染,进一步在所述吸尘通道的出风口处设置插槽,所述粉尘收集装置边缘处设置适于与所述插槽插接配合的插片,在安装粉尘收集装置时只需将其上插片与所述吸尘通道出风口处的插槽插接即可,拆卸时同样非常便捷。
附图说明
图1为本实用新型多晶硅生产用石英坩埚喷涂台的结构示意图。
图2为本实用新型多晶硅生产用石英坩埚喷涂台中拌料装置的结构示意;
图3为本实用新型多晶硅生产用石英坩埚喷涂台照明灯具安装时的局部视图。
图中所示附图标记为:1、喷涂平台,2、吸尘装置,3、喇叭口,4、吸尘通道,5、风机,6、粉尘收集装置,7、照明灯具,8、安装片,9、固定孔,10、固定凸台,11、压紧弹片,12、固定杆,13、活动块,14、第一锁紧装置,15、安装杆,16、第二锁紧装置,17、搅拌机构,18、过滤网,19、圆弧形压接部,20、插槽,21、安装架。
具体实施方式
下面结合说明书附图对本实用新型中石英坩埚喷涂台的具体结构做以说明:
实施例1
一种多晶硅生产用石英坩埚喷涂台,如图1所示,包括设于可旋转底座上的喷涂平台1,以及拌料装置,除此之外,它还包括吸尘装置2,所述吸尘装置2包括吸尘通道4和设于所述吸尘通道4上的风机5,所述吸尘通道4的内端口为喇叭口,位于所述喷涂平台1的正上方,且所述喇叭口的口径大于所述喷涂平台1的外径。本实施例中通过设置吸尘装置,并将吸尘通道4的内端口设计成喇叭口状,位于所述喷涂平台1的正上方,且所述喇叭口的口径大于所述喷涂平台1的外径,这样一来,能够及时有效的将喷涂作业时产生的粉尘及时排出喷涂车间,从而改善了喷涂车间的工作环境,有益于工作人员的身体健康。
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