[实用新型]一种托盘系统

权利要求书

1.一种托盘系统，包括托盘、盖板和密封圈，所述托盘具有至少一个凸台， 用于承载晶片，所述密封圈设置于所述凸台的边缘上，用于密封所述凸台和所 述晶片之间的空间，防止冷却介质泄漏，所述盖板包括本体和设置在所述本体 上的至少一个通孔，所述通孔与所述凸台一一对应，所述通孔的边缘上设有至 少一个压爪，其特征在于，所述通孔的边缘上还设有至少一个裙边，所述托盘 和所述盖板装配后，所述裙边遮盖所述凸台的边缘。

2.根据权利要求1所述的托盘系统，其特征在于，所述通孔的边缘上设有 多个压爪和多个裙边，所述压爪和所述裙边沿所述通孔的边缘均匀分布，且交 替设置。

3.根据权利要求1或2所述的托盘系统，其特征在于，所述裙边的上表面 和所述裙边的下表面均为与所述凸台的上表面平行的平面。

4.根据权利要求3所述的托盘系统，其特征在于，所述裙边的下表面所在 平面与所述凸台的上表面所在平面之间的垂直距离为0.2mm±0.1mm。

5.根据权利要求3所述的托盘系统，其特征在于，所述裙边的厚度为0.4mm ±0.1mm。

6.根据权利要求3所述的托盘系统，其特征在于，所述裙边的远离所述通 孔的边缘的一端与放置于所述凸台上的晶片的边缘之间的水平距离为0.4mm± 0.1mm。

7.根据权利要求6所述的托盘系统，其特征在于，所述凸台的被所述裙边 遮盖的部分的宽度为0.2mm±0.1mm。

8.根据权利要求3所述的托盘系统，其特征在于，所述裙边的远离所述通 孔的边缘的一端的上边缘设置有倒角或者圆角。

9.根据权利要求8所述的托盘系统，其特征在于，所述裙边的远离所述通 孔的边缘的一端的上边缘设置有倒角，所述倒角的大小为C0.2mm±0.1mm。

10.根据权利要求1或2所述的托盘系统，其特征在于，所述盖板还包括 位于所述本体内侧，且位于所述裙边下方的填充部，所述托盘和所述盖板装配 后，所述填充部的侧面与所述凸台的侧面接触。